全新HORIBA堀场 经济型质量流量控制器 从微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保证高精度 1秒内高速响应 全量程（T98） 尺寸紧凑，

日本HORIBA堀场 大流量/经济型质量流量控制器 SEC-E系列 从微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保证高精度 1秒内高速响应 全量程（T98） 尺寸紧凑，

日本HORIBA堀场 热质量流量模块 SEC-Z700S系列 从微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保证高精度 1秒内高速响应 全量程（T98） 尺寸紧凑，

原厂HORIBA堀场 热法 PI 质量流量模块SEC-Z700X系列　 从微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保证高精度 1秒内高速响应 全量程（T98） 尺寸紧凑，

原厂HORIBA堀场 质量流量模块D500系列 从微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保证高精度 ±1.0% SP（设定点） 1秒内高速响应 全量程（T98） 尺寸紧凑， 面间距106mm（50SLM以下，1/4VCR型），兼容1.125英寸燃气面板。