原厂HORIBA堀场 通用型数字质量流量控制器 SEC-N100系列

原厂HORIBA堀场 通用型数字质量流量控制器 SEC-N100系列

原厂HORIBA堀场 通用型数字质量流量控制器 SEC-N100系列

数字质量流量控制器型号，配备多范围/多气体功能，允许用户更改气体类型和流量范围。

实现±1.0%SP的高精度、全量程1秒内高速响应、5SCCM～500SLM的宽量程。通讯方式可以从数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通讯中选择。该质量流量控制器不仅适用于先进工艺，而且适用于各种制造工艺。

多量程/多气体兼容。

气体类型和满量程流量可在用户侧更改。通过减少备件数量，有助于降低成本。

从微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制

保证高精度

±1.0% SP（设定点）

1秒内高速响应

全量程（T98）

尺寸紧凑，

可选择的通信方式

阵容：数字/模拟、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通讯方式    驱动电源    产品型号

数字通讯

・RS-485 F-Net协议

模拟通讯

・0~5VDC

±15VDC(±5%) *    SEC-N102系列

DeviceNetTM通讯    ODVA标准    SEC-N104系列

CC-Link® 通讯

模拟通讯

・0~5VDC 0~10VDC

・4~20mA

24VDC（13 ~ 32VDC）    SEC-N105系列

现场总线通讯

模拟通讯

・0~5VDC 0~10VDC

・4~20mA

现场总线标准

24VDC(13~32VDC)

SEC-N106系列

EtherCAT®通信    

EtherCAT标准

24VDC+/-4V

SEC-N107系列

可滚动的

宽广的流量控制范围，从 10 SCCM 到 1000 SLM 

流量控制范围可以从满量程流量值的 2% 开始执行。

高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度

配备数字校正功能，实现设定点精度

全流量范围快速响应：1秒内完成全量程

配备多气体/多量程功能，

允许用户改变气体类型和满量程流量。可选择的通信方式

阵容：数字/模拟、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通讯方式    驱动电源    产品型号

数字通讯

・RS-485 F-Net协议

模拟通讯

・0~5VDC

±15VDC(±5%) *    SEC-N102系列

DeviceNetTM通讯    ODVA标准    SEC-N104系列

CC-Link® 通讯

模拟通讯

・0~5VDC 0~10VDC

・4~20mA

24VDC（13 ~ 32VDC）    SEC-N105系列

场总线通讯

模拟通讯

・0~5VDC 0~10VDC

・4~20mA

现场总线标准

24VDC(13~32VDC)

SEC-N106系列

EtherCAT®通信    

EtherCAT标准

24VDC+/-4V

SEC-N107系列

可滚动的

宽广的流量控制范围，从 10 SCCM 到 1000 SLM 

流量控制范围可以从满量程流量值的 2% 开始执行

高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度

配备数字校正功能，实现设定点精度

全流量范围快速响应：1秒内完成全量程

配备多气体/多量程功能，

允许用户改变气体类型和满量程流量。