全新HORIBA堀场 高速响应/高精度质量流量模块 D700MG系列

全新HORIBA堀场 高速响应/高精度质量流量模块 D700MG系列

全新HORIBA堀场 高速响应/高精度质量流量模块 D700MG系列

可对调谐气体等低流量气体进行精密控制。

100毫秒或更短的高速响应，减少了MFC之间的机器差异，

提高了生产率并提高了工艺性能。

流量测量的内部生产

所有制造的产品都表现出高可靠性。

状态监控功能

提供更多内部数据并实现更智能的故障预测。

PFA 阀门具有出色的阀门关闭和耐腐蚀性能

减少停机时间并优化产量。

数字质量流量控制器型号，配备多范围/多气体功能，允许用户更改气体类型和流量范围。

实现±1.0%SP的高精度、全量程1秒内高速响应、5SCCM～500SLM的宽量程。通讯方式可以从数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通讯中选择。该质量流量控制器不仅适用于先进工艺，而且适用于各种制造工艺。

多量程/多气体兼容。

气体类型和满量程流量可在用户侧更改。通过减少备件数量，有助于降低成本。

从微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制

保证高精度

±1.0% SP（设定点）

1秒内高速响应

全量程（T98）

尺寸紧凑，

可选择的通信方式

阵容：数字/模拟、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通讯方式    驱动电源    产品型号

数字通讯

可滚动的

宽广的流量控制范围，从 10 SCCM 到 1000 SLM

流量控制范围可以从满量程流量值的 2% 开始执行

高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度

配备数字校正功能，实现设定点精度

全流量范围快速响应：1秒内完成全量程

配备多气体/多量程功能，

允许用户改变气体类型和满量程流量。

在整个流量范围内（上升、下降、设定值到设定值）响应时间为 100 毫秒或更短

自诊断多重诊断功能

改进的压力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重复性 (±0.15 %SP)

兼容环境温度范围广（15-60℃）