日本HORIBA堀场 质量流量计检查器

日本HORIBA堀场 质量流量计检查器

日本HORIBA堀场 质量流量计检查器

在整个流量范围内（上升、下降、设定值到设定值）响应时间为 100 毫秒或更短

自诊断多重诊断功能

改进的压力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重复性 (±0.15 %SP)

兼容环境温度范围广（15-60℃）

0.1 至 100% 的宽范围控制和低流量下的高精度

提供了过程优化和灵活性。

小于500毫秒的高速响应

级别，

尺寸仅为其他公司的 1/20，传感器截面尺寸仅为 5 厘米。非常适合整合到设备中

该传感器配备有由16根电极棒组成的9个四极杆部分，具有的结构，尽管其尺寸最小，但仍实现了高灵敏度。

低真空（高压）操作

当测量总压力高达 0.5 Pa（对于 2-65 m/z 传感器）时，无需准备额外的差压泵系统。

用户可更换的传感器

校准过滤器可以在现场轻松更换，无需拆卸设备。

一台安装了专用通信

软件的 PC 通过 RS-485 通信最多可以连接 8 台设备。它还具有适合设备集成的模拟输入/输出。

用户友好的 Micropole ScannerTM 2 软件是为专用软件QL-SG02 开发的，可实现 QL-SG02 的控制、数据采集、可视化和分析。

这是质量流量计专用的监控单元。

业务部门：半导体

产品类别：流体控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.

特征

规格

流量报警输出功能 外部输出：集电极开路

流量信号输出：0~5VDC

流量显示输出功能

输入电源：AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX

尺寸：48(W) x 96(H) x 170(D)mm（不包括突出部分）

适用标准 安全标准：符合 CE 标志、符合 EMC 指令、符合 FCC 环境兼容性：符合 RoHS 指令

兼容数字/模拟通信模型