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通用HORIBA堀场 高精度膜流量计
在整个流量范围内（上升、下降、设定值到设定值）响应时间为 100 毫秒或更短
自诊断多重诊断功能
改进的压力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重复性 (±0.15 %SP)
兼容环境温度范围广（15-60℃）
0.1 至 100% 的宽范围控制和低流量下的高精度
提供了过程优化和灵活性。
小于500毫秒的高速响应
级别，
尺寸仅为其他公司的 1/20，传感器截面尺寸仅为 5 厘米。非常适合整合到设备中
该传感器配备有由16根电极棒组成的9个四极杆部分，具有的结构，尽管其尺寸最小，但仍实现了高灵敏度。
低真空（高压）操作
当测量总压力高达 0.5 Pa（对于 2-65 m/z 传感器）时，无需准备额外的差压泵系统。
用户可更换的传感器
校准过滤器可以在现场轻松更换，无需拆卸设备。
一台安装了专用通信
软件的 PC 通过 RS-485 通信最多可以连接 8 台设备。它还具有适合设备集成的模拟输入/输出。
用户友好的 Micropole ScannerTM 2 软件是为专用软件QL-SG02 开发的，可实现 QL-SG02 的控制、数据采集、可视化和分析。
这是质量流量计专用的监控单元。
业务部门：半导体
产品类别：流体控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
特征
规格
流量报警输出功能 外部输出：集电极开路
流量信号输出：0~5VDC
流量显示输出功能
输入电源：AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX
尺寸：48(W) x 96(H) x 170(D)mm（不包括突出部分）
适用标准 安全标准：符合 CE 标志、符合 EMC 指令、符合 FCC 环境兼容性：符合 RoHS 指令
兼容数字/模拟通信模型
显示单元
这是一个以数字方式显示流量和压力信号（0 至 5VDC）的装置。
业务部门：半导体
产品类别：流体控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
| 高精度薄膜流量计SF-1U/2U | |
|---|---|
| 展示 | LDC 6位数字显示（可切换显示测量流量、测量时间、温度、设定压力等） |
| 自动测量功能 | 在自动模式下执行自动测量和平均值计算2至10次（可以调用先前存储的数据；关闭电源会清除电源） |
| 工作环境速度 | 5~40℃ 精度保证范围（15~30℃） |
| 外部输入/输出 | 符合 RS-232C 标准 |
| 电源 | AC适配器（DC7V）驱动 |
| 卷管装置VP-1U | |
|---|---|
| 流量测量范围 | 0.2～10mL/分钟 |
| 准确性 | 0.5%(±1%)0.2～2mL/min(2～10mL/min) |
| 目标气体 | N2 、空气、O2 、 H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4、C3H8等 注）不能测量水溶性气体和腐蚀性气体。 |
| 环境温度 | 5~40℃ 精度保证范围（15℃~35℃） |
| 外部输入/输出 | 符合 RS-232C 标准 |
| 体积管单元VP-2U | |
|---|---|
| 流量测量范围 | 2～100mL/分钟 |
| 准确性 | 0.5%(±1%)2～20mL/min(20～100mL/min) |
| 目标气体 | N2 、空气、O2 、 H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4、C3H8等 注）不能测量水溶性气体和腐蚀性气体。 |
| 环境温度 | 5~40℃ 精度保证范围（15℃~35℃） |
| 外部输入/输出 | 符合 RS-232C 标准 |
| 体积管单元VP-3U | |
|---|---|
| 流量测量范围 | 20～1000mL/分钟 |
| 准确性 | 0.5%(±1%)20～200mL/min(200～1000mL/min) |
| 目标气体 | N2 、空气、O2 、 H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4、C3H8等 注）不能测量水溶性气体和腐蚀性气体。 |
| 环境温度 | 5~40℃ 精度保证范围（15℃~35℃） |
| 外部输入/输出 | 符合 RS-232C 标准 |
| 卷管装置VP-4U | |
|---|---|
| 流量测量范围 | 0.2～10L/分钟 |
| 准确性 | 0.5%(±1%)0.2~1升/分钟(1~10升/分钟) |
| 目标气体 | N2 、空气、O2 、 H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4、C3H8等 注）不能测量水溶性气体和腐蚀性气体。 |
| 环境温度 | 5~40℃ 精度保证范围（15℃~35℃） |
| 外部输入/输出 | 符合 RS-232C 标准 |
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