日本HORIBA堀场 数显自动压力调节器 UR-Z700系列

日本HORIBA堀场  数显自动压力调节器 UR-Z700系列

日本HORIBA堀场  数显自动压力调节器 UR-Z700系列

对氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制，这对于控制晶圆背面的温度至关重要。配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器，不仅可以精确稳定地进行微小压力控制，还可以进行流量测量。

业务部门：半导体

产品类别：流体控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd. 通过使用经过验证的电容式压力传感器，可以在低压下进行精确的压力控制。

压力控制期间高精度监控气体流量。

对氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制，这对于控制晶圆背面的温度至关重要。配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器，不仅可以精确稳定地进行微压差控制，还可以进行流量测量。

业务部门：半导体

产品类别：流体控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.

供货精准稳定

配备质量

流量传感器配备质量流量控制器中广泛使用的质量流量传感器，可以以与原料气体供应过程相同的精度监控实际流量。

与质量流量控制器相同的尺寸

与质量流量控制器相同的尺寸和配件兼容，因此可以进行类似的设计和构造。

符合RoHS指令

这是一款配备数字控制电路的自动压力调节器，该电路使用高精度压力传感器和高分辨率、高速响应压电阀。

采用全金属结构（气体接触部分）和无死体积结构，可对腐蚀性气体和低蒸气压气体进行稳定的压力控制。它可以使用外部信号进行远程控制，非常适合安装在需要全面气体控制的系统中，例如需要全面性能评估的气体传感器和耐压评估系统。