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总经销HORIBA堀场 高分辨率性能排气压力控制器
总经销HORIBA堀场 高分辨率性能排气压力控制器
对氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制，这对于控制晶圆背面的温度至关重要。配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器，不仅可以精确稳定地进行微小压力控制，还可以进行流量测量。
业务部门：半导体
产品类别：流体控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd. 通过使用经过验证的电容式压力传感器，可以在低压下进行精确的压力控制。
压力控制期间高精度监控气体流量。
对氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制，这对于控制晶圆背面的温度至关重要。配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器，不仅可以精确稳定地进行微压差控制，还可以进行流量测量。
业务部门：半导体
产品类别：流体控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
供货精准稳定
配备质量
流量传感器配备质量流量控制器中广泛使用的质量流量传感器，可以以与原料气体供应过程相同的精度监控实际流量。
与质量流量控制器相同的尺寸
与质量流量控制器相同的尺寸和配件兼容，因此可以进行类似的设计和构造。
符合RoHS指令
这是一款配备数字控制电路的自动压力调节器，该电路使用高精度压力传感器和高分辨率、高速响应压电阀。
采用全金属结构（气体接触部分）和无死体积结构，可对腐蚀性气体和低蒸气压气体进行稳定的压力控制。它可以使用外部信号进行远程控制，非常适合安装在需要全面气体控制的系统中，例如需要全面性能评估的气体传感器和耐压评估系统。
| 互动规模 | 西北40 |
|---|---|
| 气体接触材料 | SUS-316L、Viton® |
| 电导 （真空区域） | 0.4～80升/秒 |
| 流出量100mmH2O （全闭） | 20升/分钟 |
| 互动规模 | 西北50 |
|---|---|
| 气体接触材料 | SUS-316L、Viton® |
| 电导 （真空区域） | 0.6～200升/秒 |
| 流出量100mmH2O （全闭） | 25升/分钟 |
| 互动规模 | 25mm Teflon® 接头 1 英寸 Teflon® 接头 |
|---|---|
| 气体接触材料 | PTFE、PEEK、Viton® |
| 电导 （真空区域） | 0.4～80升/秒 |
| 流出量100mmH2O （全闭） | 3升/分钟 |
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