ULVAC爱发科 SW1-2 真空计传感器类型
ULVAC爱发科 SW1-2 真空计传感器类型
操作性的提高:通过与PC/智能手机的连接,可以进行设定点设置、状态确认等。
灯丝寿命通知功能:通过监测灯丝功率,可提前通知灯丝寿命。
可连接到不同的测量范围:复合电离真空计可以根据工艺选择测定子。
小型化:与之前的产品相比,实现了尺寸的大幅缩小(控制器体积缩小56%),成为同级别最小的产品之一。
更丰富的阵容:除了模拟输出规格和串行通信规格之外,还将增加EtherCAT规格
一台三极管金属电离真空计(正在申请):即使在恶劣的环境中,真空计的使用寿命也很长。
压力测量范围广:从大气压到高真空范围(1×10+5~1×10-5Pa)(选配SWU10-R的情况下)。
可以精确的测量大气压:可以检查腔体的开启情况(当连接了可选的单元SAU时)。
用途
用于有机EL・触摸屏等制造设备的极限压力确认以及工艺管理用真空炉等各种工业真空设备的极限压力确认
用于在含有多种碳氢化合物(油类)的环境中进行测量
用于在真空零件加工时残留切削油和清洁液的环境中进行测量
用于需要降低测定子更换频率的真空设备
真空防潮箱由真空泵制造商提供。
太阳能电池・FPD・半导体・电子部件等各种制造设备
用于设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于在线式・片叶式等工艺腔室多种的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于有振动·冲击的各种真空排气系统
模型 | SW1-1 | SW1-2 |
可连接传感器头 | 1个 | |
兼容传感器头 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(φ18)、SWP-P15(φ15)、SWP-CF16(ICF034)、SWP-1S(ASME BPE卫生级1") | |
可测压力范围 | 5.0×10 -2 ~ 1.0×10 +5 Pa(Pa(表示范囲:1.0×10 -2 ~ 1.2×10 +5 Pa) | |
准确性* | 1×10 -1 Pa ~ 1×10 +4 Pa : ±10% | |
5.0×10 -2 ~ 1.0×10 -1 Pa、1×10 +4 Pa ~ 1×10 +5 Pa:±20% | ||
重复性 | 1×10 -1 Pa ~ 1×10 +4 Pa : ±2% | |
采样时间 | 50ms 5回の移动平均处理 | |
值输出 | 输出电压DC0至10V | |
压力指示(对数)1.7V 至 8.0V 1V/十倍 | ||
(更新时间)50ms | ||
控制输入信号 | 开路集电极输入,负逻辑 | - |
ADJ调整(零点、大气调整) | - | |
控制输出信号 | 开路集电极输出,负逻辑 [额定值:30VMAX、50mAMAX、70mW] | - |
错误信号 | - | |
设定点 1、2 | - | |
监控设定点 | 设定点1、2:0至10V日志输出 | - |
串行通讯类型 | - | RS232C/RS485 |
LED 显示屏 | 电源/错误:电源错误 LED | |
SET-1:设定点1LED | - | |
SET-2:设定点2LED | - | |
灯丝材质 | 铂 | |
工作温度范围 | 10~40℃ | |
工作湿度范围 | 15~80% (无凝露) | |
IP 等级 | IP30(传感器单元) | |
固定位置 | 自由的 | |
电源电压 | DC18V ~ 30V,2W(含电源输入4.8W) | |
输入/输出连接器 | D-sub 15 针(M2.6mm 螺丝)- 侧面传感器单元 | |
重量 | 150克(含SWP-16) | |
尺寸(电源)宽×深×高 | 70毫米×46毫米×28毫米 | |
标准配件 | 快速手册 | |
选项 | 输入/输出连接器(D-sub 15 插座(M2.6mm 螺丝))、检查结果数据表、一般校准测试报告、JCSS 校准证书 | |
适用标准 | CE |
电话
微信扫一扫