DIC防静电装置1AC-P201

一、产品概述

DIC防静电装置1AC-P201是专为超纯水环境设计的静电控制解决方案，采用日本DIC公司的中空纤维透气膜技术，通过二氧化碳气体注入实现电阻率动态调控。该装置有效防止静电吸附导致的微粒污染，特别适用于半导体晶圆清洗、光罩维护等对洁净度要求的工业场景。其柜式结构整合气瓶存储与传感器监测，支持直接连接用水点，实现全流程自动化控制。

二、核心特性

1. 超纯水电阻率调控
   通过中空纤维膜精准释放CO₂气体，将超纯水电阻率稳定控制在18.2 MΩ·cm以上，消除静电引发的微粒二次附着问题。

2. 模块化设计
   集成双气瓶柜体与电阻率传感器，支持5-30 L/min流量范围，满足连续作业需求。

3. 环境适应性
   防护等级IP65，可在-10℃至50℃环境温度下稳定运行，适应潮湿、粉尘等严苛工况。

4. 安全防护机制
   内置过压保护与气路自检功能，异常时自动切断气源并触发声光报警。

三、技术参数

四、结构设计

• 双气瓶柜体：采用304不锈钢框架，单柜可容纳2个标准CO₂气瓶（容积10L），配备压力表与截止阀。

• 智能监测模块：集成电阻率传感器与流量计，数据通过4-20mA模拟信号或RS485协议输出，支持MODBUS RTU通信。

• 防震底座：橡胶减震垫设计，降低设备运行振动对超纯水系统的干扰。

五、应用场景

1. 半导体制造
   用于晶圆湿法清洗工序，防止静电吸附导致的光刻缺陷。

2. 光伏电池生产
   在太阳能电池片制绒环节，确保超纯水清洗无微粒残留。

3. 生物医药
   符合GMP认证的注射用水系统，避免药品生产中的交叉污染。

六、安装与维护

• 安装要求：设备需水平放置于通风环境，周边预留≥50cm维护空间；气瓶连接需使用不锈钢软管。

• 日常维护：每季度更换中空纤维膜组件，每年校准传感器；气瓶压力低于1MPa时需及时更换。

• 故障处理：电阻率异常时优先检查气路密封性，流量不足时需清洁进水过滤器。

七、服务支持

• 认证标准：通过SEMI S2-0710半导体设备安全认证，符合ISO 14644-1 Class 3洁净室要求。

• 质保条款：整机质保2年，核心部件（传感器、膜组件）质保1年。

• 技术支持：提供远程诊断与现场服务，紧急响应时间≤4小时