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ULVAC爱发科 HT200-E 小型化热阴极电离真空计

简要描述:ULVAC爱发科 HT200-E 小型化热阴极电离真空计
提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计

  • 产品型号:原装
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-08-27
  • 访  问  量:56
详情介绍

ULVAC爱发科 HT200-E 小型化热阴极电离真空计

ULVAC爱发科 HT200-E 小型化热阴极电离真空计

操作性的提高:通过与PC/智能手机的连接,可以进行设定点设置、状态确认等。

灯丝寿命通知功能:通过监测灯丝功率,可提前通知灯丝寿命。

可连接到不同的测量范围:复合电离真空计可以根据工艺选择测定子。

小型化:与之前的产品相比,实现了尺寸的大幅缩小(控制器体积缩小56%),成为同级别最小的产品之一。

更丰富的阵容:除了模拟输出规格和串行通信规格之外,还将增加EtherCAT规格

一台三极管金属电离真空计(正在申请):即使在恶劣的环境中,真空计的使用寿命也很长。

压力测量范围广:从大气压到高真空范围(1×10+5~1×10-5Pa)(选配SWU10-R的情况下)。

可以精确的测量大气压:可以检查腔体的开启情况(当连接了可选的单元SAU时)。

用途

用于有机EL・触摸屏等制造设备的极限压力确认以及工艺管理用真空炉等各种工业真空设备的极限压力确认

用于在含有多种碳氢化合物(油类)的环境中进行测量

用于在真空零件加工时残留切削油和清洁液的环境中进行测量

用于需要降低测定子更换频率的真空设备

规格

型号SH200-ASH200-RHT200-E
(即将上市)
规格标准规格串口通信规格EtherCAT规格
适应多离子传感器M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以连接的传感器多离子传感器:1本
皮拉尼真空计SWU10-R:1本(可选)
大其他传感器SAU:1本(可选)
测量精度(N2SH200本体模式:±2%
取样时间60ms 5回 移動平均処理
測定値出力出力电压 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力换算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新时间60msec
控制输入信号FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF
打开集电极动作、负逻辑
* FIL ON/OFF信号使用方式因模式而异
--
制御出力信号传感器错误,设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
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串行通信规格-RS232C/RS-485EtherCAT
LED显示POWER/ERROR: 电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化)
发射电流1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上)
DEGAS电子轰击脱离方法(电子轰击)1mA、330V
测量部耐圧性2×10+5Pa (绝对压力)
* 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性
传感器内部容量17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46)
使用温度范围10~50℃
使用湿度范围15~80%(不结露)
保管温度-20~65℃(非通电时、不结露)
IP保护等級IP30
电源电压DC20~28V (波纹,噪音1%以下) 
8W以下
输入/输出连接器D-sub15销(M2.6螺丝)
重量调节器:约280g 测定子(M-44, M-45):80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H69mm×63mm×90mm (控制器部分)
适合规格CE
选项多离子传感器M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
材质:灯丝1,2 -Ir/Y2O3
其他:PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niメッキ
皮拉尼真空计传感器SWU10-R ※也支持传统的SPU产品。
皮拉尼真空计SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材质:灯丝-Pt, 其他-BS/Ni, 电镀, Ni, 焊接
大气压传感器SAU(NW16) 材质:SUS316L
单位电缆GUC-200P(SWU用):0.5m, 1m, 2m, GUC-200A(SAU用):0.5m, 1m, 2m
显示单元1CH:ISG1 (DC24V电源使用)
显示单元电缆SH200~显示单元电缆
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
连接器入出力连接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺丝))
其他検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書


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