相关文章
Related ArticlesULVAC爱发科 通用型炎热电离真空计转氨酶 AxTRAN
ULVAC爱发科 通用型炎热电离真空计转氨酶 AxTRAN
操作性的提高:通过与PC/智能手机的连接,可以进行设定点设置、状态确认等。
灯丝寿命通知功能:通过监测灯丝功率,可提前通知灯丝寿命。
可连接到不同的测量范围:复合电离真空计可以根据工艺选择测定子。
小型化:与之前的产品相比,实现了尺寸的大幅缩小(控制器体积缩小56%),成为同级别最小的产品之一。
更丰富的阵容:除了模拟输出规格和串行通信规格之外,还将增加EtherCAT规格
一台三极管金属电离真空计(正在申请):即使在恶劣的环境中,真空计的使用寿命也很长。
压力测量范围广:从大气压到高真空范围(1×10+5~1×10-5Pa)(选配SWU10-R的情况下)。
可以精确的测量大气压:可以检查腔体的开启情况(当连接了可选的单元SAU时)。
用途
用于有机EL・触摸屏等制造设备的极限压力确认以及工艺管理用真空炉等各种工业真空设备的极限压力确认
用于在含有多种碳氢化合物(油类)的环境中进行测量
用于在真空零件加工时残留切削油和清洁液的环境中进行测量
用于需要降低测定子更换频率的真空设备
AxTRAN是在离子源和离子收集器之间配置了Bessel-Box型能量过滤器的热阴极电离真空计。
由于降低了软X射线,ESD离子等的剩余电流,实现了0.5×10 -10 Pa的测定分辨率。
可以测量10 -11 Pa
可以减少诸如软X射线和ESD离子之类的剩余电流
测量区域广1×10 -2~0.5×10 -10 Pa
标准压力0~10V模拟日志输出/每个数字内1V线性输出
可以输出2个设定点
BCD/RS232C(可选)
用于真空设备,如高能加速器压力测量
用于超高、超高真空设备的压力测量
模型 | ISX2 |
可测压力范围 | 5×10 -11至 1×10 -2 Pa (3.75×10 -13至 7.5×10 -5 Torr, 5×10 -13至 1×10 -4 mbar) |
测量分辨率 | 0.5×10 -10 Pa(0.375×10 -12托,0.5×10 -12毫巴) |
展示 | 数字显示,3位尾数,2位指数 |
脱气 | 电子激发解吸式 |
测量值输出 | 线性输出 0 至 10 VDC |
伪对数输出 0 至 10V(每位 1V 线性信号) | |
设定点 | 2 分 |
工作温度范围 | 10 至 40˚C(50 至 104˚F) |
工作湿度范围 | 15~80%(无结露) |
电源电压 | AC85至240V |
外形尺寸 宽×深×高 | 240毫米×350毫米×99毫米 |
重量 | 5.3公斤 |
标准配件 | AC100V(3P带地线插头)电源线,说明书 |
选项 | 传感器:X-11 |
传感器电缆:5、10、20m | |
BCD输出,RS232C/485 |
兼容传感器头 | X-11 |
能量过滤器 | 贝塞尔盒型 |
灯丝 | Ir・Y2O3 × 2 |
安装法兰 | UFC-070 |
最高烘烤温度 | 300℃ (572˚F) 无传感器电缆 |
电话
微信扫一扫