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ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计 SC1-N
ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计 SC1-N
操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。
灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。
可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据工艺选择测定子。
小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别最小的产品之一。
更丰富的阵容：除了模拟输出规格和串行通信规格之外，还将增加EtherCAT规格
一台三极管金属电离真空计（正在申请）：即使在恶劣的环境中，真空计的使用寿命也很长。
压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10+5～1×10-5Pa）（选配SWU10-R的情况下）。
可以精确的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。
用途
用于有机EL・触摸屏等制造设备的极限压力确认以及工艺管理用真空炉等各种工业真空设备的极限压力确认
用于在含有多种碳氢化合物（油类）的环境中进行测量
用于在真空零件加工时残留切削油和清洁液的环境中进行测量
用于需要降低测定子更换频率的真空设备
测量部件和测量电路一体化集成
模拟输出和设定点输出
独立的模拟日志输出和设定点输出（显示单元）
采用DIN标准尺寸48 x 96 mm（显示单元）
用于半导体，光学和电子零件制造的精密真空设备的压力范围内的过程控制
低真空范围的过程控制，适用于熔解炉等工业设备
具有多个工艺腔体的真空系统的压力范围内的过程控制，例如in-line式溅射设备和晶圆制造设备
| 传感器 单元 | 显示单元 | 特征 | ||
| 数字 | 数字4CH | |||
| 皮拉尼真空计 | SW1 SP1 | ISG1 | IM1R1 IM2R1 | ・10-2～10+5Pa ・价格低 |
| 热的 阴极 真空计 | SH2 | ・5x10-8～9.9x100Pa ・测量范围广 ・多离子真空计适用 | ||
| 冷 阴极 真空计 | SC1 | ・5x10-5～1Pa ・低运行成本 | ||
| 电容 压力计 | CCMT-D | DC15V DC24V | ・陶瓷隔膜规格 ・可以高精度测量低，中真空 | |
| 特征 | ・测定子一体型 ・类似物输出 ・设定点输出 | ・DC24V适用 ・设定点3点 ・查看方便LED | ・4CH同时表示 ・设定点8点 ・节省空间 | |
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