ORC欧阿希 UV-351 紫外线照度计UV测量仪器
ORC欧阿希 UV-351 紫外线照度计UV测量仪器
它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。
这是一种小型、轻量的手持式,可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用(或计划使用)的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。
这是一种小型、轻量的手持式,可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用(或计划使用)的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。
它是一种小型、轻量、手持式测量仪器,具有集成的光接收部分和主体。该测量仪器与紫外线曝光设备和紫外线输送机兼容。
◆ 特点
・ 您可以管理曝光设备、UV传送带等的照度和光量。
・ 它是一种小型、轻量、薄型、方便携带的类型。
・ 您可以根据您的应用选择UV-351(相当于UV-SD35)、UV-351-25(相当于UV-SD25)或UV-351-42(相当于UV-SD42 )型号。
・ 可选择多种测量模式,包括光强度测量、照度测量、峰值照度测量。
・ 它具有耐热且结构坚固的金属机身。
◆ 关于SD型和SN型
SN型已被长期使用我们的曝光设备和辐照设备的客户广泛采用,确保了工艺管理的连续性。
SD型用于半导体和液晶基板的制造过程现场,当已经使用其他公司照度计的客户担心确保与这些测量仪器(我们的曝光设备)的数据兼容性时,SD型用于投影曝光设备和液晶板外围曝光设备),推荐给使用全新照度计的客户。
◆ 关于SD型和SN型的指示值
为了保证与旧工艺数据的兼容性,SN型使用了SD型的指示值(在我们的测量组中测量用作辐射源的高压UV灯的365 nm亮线进行校准)相同测量条件下)。 调整为比显示时的照度值高39%
◆ 关于与其他公司的照度计、照度计的数据兼容性
与可见光的照度计和照度计(以LUX为单位测量家庭、办公室、商店、博物馆等的亮度的照度计和照度计)不同,它适用于所有紫外光的照度计和照度计,目前还没有标准。已经建立(JIS 标准化工作似乎仅针对少数有限的用途正在进行)。
即使各公司的相对光谱灵敏度是为了测量主要具有 365 nm 发射线的光源的照度,也从测量的峰值波长开始(相对光谱灵敏度特性表示为 1 的波长) ,短波长侧(300nm至310nm左右)和长波长侧(380nm至400nm左右),上升和下降波长以及前后曲线略有不同。
在设计上也做出了努力,使接收器的接收角特性(即COS θ特性)更接近理想曲线,但现实情况是很少能实现。
模型 | UV-351 |
---|---|
测量波长范围 | 310-385nm(相当于UV-SD35) |
测量照度范围 | 0.1~100.0mW/c㎡ |
测量光量范围 | 1~19999mJ/c㎡ |
贴合精度 | 紫外线标准的 ±1.5% 以内 |
重复性 | ±1.5%以内 |
电话
微信扫一扫