日本HORIBA堀场 电容压力隔膜真空表

日本HORIBA堀场 电容压力隔膜真空表

日本HORIBA堀场 电容压力隔膜真空表

配备PI功能
配备最新算法，即使面对快速的压力波动也能实现稳定的流量控制，允许设计消除每个气体管路的压力控制功能。实现燃气管路的简化。多量程/多气体功能允许用户更改气体类型和满量程流量1秒内全量程快速响应由于不需要调节器、压力表和过滤器，有助于使燃气管道更加紧凑。不受一次压力或二次压力波动的影响配备入口压力传感器配备多显示功能高精度
1% SP保证流量精度超洁净
金属膜片，全不锈钢，内部抛光标准内置网络功能，采用数字信号控制。

尺寸紧凑，

可选择的通信方式

阵容：数字/模拟、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通讯方式    驱动电源    产品型号

数字通讯

可滚动的

宽广的流量控制范围，从 10 SCCM 到 1000 SLM

流量控制范围可以从满量程流量值的 2% 开始执行

高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度

配备数字校正功能，实现设定点精度

全流量范围快速响应：1秒内完成全量程

配备多气体/多量程功能，

允许用户改变气体类型和满量程流量。

在整个流量范围内（上升、下降、设定值到设定值）响应时间为 100 毫秒或更短

自诊断多重诊断功能

改进的压力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重复性 (±0.15 %SP)

兼容环境温度范围广（15-60℃）

0.1 至 100% 的宽范围控制和低流量下的高精度

提供了过程优化和灵活性。

小于500毫秒的高速响应

级别，

尺寸仅为其他公司的 1/20，传感器截面尺寸仅为 5 厘米。非常适合整合到设备中

该传感器配备有由16根电极棒组成的9个四极杆部分，具有的结构，尽管其尺寸最小，但仍实现了高灵敏度。

低真空（高压）操作

当测量总压力高达 0.5 Pa（对于 2-65 m/z 传感器）时，无需准备额外的差压泵系统。

用户可更换的传感器

校准过滤器可以在现场轻松更换，无需拆卸设备。

一台安装了专用通信

软件的 PC 通过 RS-485 通信最多可以连接 8 台设备。它还具有适合设备集成的模拟输入/输出。

用户友好的 Micropole ScannerTM 2 软件是为专用软件QL-SG02 开发的，可实现 QL-SG02 的控制、数据采集、可视化和分析。