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ULVAC爱发科 回转式多传感器 CRTS-M6
ULVAC爱发科 回转式多传感器 CRTS-M6
操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。
灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。
可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据工艺选择测定子。
小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别最小的产品之一。
更丰富的阵容：除了模拟输出规格和串行通信规格之外，还将增加EtherCAT规格
一台三极管金属电离真空计（正在申请）：即使在恶劣的环境中，真空计的使用寿命也很长。
压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10+5～1×10-5Pa）（选配SWU10-R的情况下）。
可以精确的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。
用途
用于有机EL・触摸屏等制造设备的极限压力确认以及工艺管理用真空炉等各种工业真空设备的极限压力确认
用于在含有多种碳氢化合物（油类）的环境中进行测量
用于在真空零件加工时残留切削油和清洁液的环境中进行测量
用于需要降低测定子更换频率的真空设备
多传感器
CRTS 系列
爱发科
可搭载6枚5MHz或6MHz的水晶振动子
使用了真空电机的独-特驱动方式实现了高可靠性
水晶震动子的更换非常方便
当检测到水晶振动子振荡异常时，可以自动进行水晶振动子切换（当CRTM系列用作控制器时）
由于传感器头很小（直径50mm），可以灵活地连接到成膜系统。
光学、光通信部品的蒸发
有机物的蒸发
电子部品,其他蒸发
| 感测头 | |
| 已装备水晶数量 | 6 件 |
| 晶体容量 | 4MHz、 5MHz 或 6MHz（可选）AT 切割晶体 |
| 耐热温度 | 350℃ |
| 冷却水量 | 1升/分钟 |
| 重量 | 1公斤 |
| 方面 | Φ50mm x H 约89mm |
| 控制器 | |
| 数字输入 | 初始化、计数、停止 |
| 数字输出 | 传感器编号、忙碌、错误、重试、结束 |
| 公用事业 | DC24V，3.0A |
| 尺寸 宽×深×高 | 100 毫米 x 252 毫米 x 99 毫米 |
电话
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