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新款ULVAC爱发科 螺杆型干式真空泵 MS1200A
新款ULVAC爱发科 螺杆型干式真空泵 MS1200A
特点
通过对转子轴和铝合金等主要部件进行特殊涂层处理，进行腐蚀。
采用ULVAC 设计的底座轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
目的
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上，提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计
| 型式 | （C：C式样） （L：L式样） | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | ||||
| C | L | C | L | C | L | C | L | ||
| 最大排气速度 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | ||||
| 到达压力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | ||||||
| 电源电压 | 200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V | ||||||||
| 消费电力 概略值 *1 | kW | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 |
| 冷却水量 | L/min | >2.0 | >4.0 | ||||||
| Purge gas 量 *2 | SLM | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 |
| 最大水蒸气 处理量 *3 | kg/h | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 |
| 噪音值*1 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | ||||
| 吸气口 | KF50(水平)／ VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |||||
| 排气口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | |||||
| 质量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | ||||
| 适用规格 | CE、cTUVus | ||||||||
| 标准附属品 | 电源用连接器、防水电缆夹、信号用连接器、电源连接保护器 | ||||||||
| 本体选配件 | 电源电压：200V级或400V级、密封部材质：全氟弹性体(仅用于L型) | ||||||||
| 外部选配件 | MBP吸气口变换Flange、外壳排气Port、耐震固定用金属、LR互换Unit(吸气口、信号)、 Gas purge | ||||||||
*1：到达压力时
*2：C式样不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用时的最大水蒸气处理量
Note)C式样不可对应无漏
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