池田屋原装爱发科 真空泵  CR300B产品介绍技术参

爱发科CR300B是一款多级罗茨型干式真空泵，属于CR系列Ver.B中的大抽速型号，凭借无油洁净的运行特性、高效的抽气能力和广泛的适配性，成为工业与科研领域真空解决方案的优选设备。该泵通过了CE、cTUVus国际安全合规认证，可在全球范围内的半导体制造、真空镀膜、分析仪器等场景稳定运行，尤其适配对真空洁净度和抽气效率要求严苛的中高真空需求场景。

二、核心工作原理

CR300B采用多级罗茨压缩结构，泵壳内配置两支三叶截面转子，通过齿轮驱动实现反向同步旋转，转子与壳体、转子之间保持微米级间隙，全程无接触运行。气体从进气口进入第一级转子腔室后，随转子旋转完成吸入、输送与初步压缩，再通过级间流道进入后续压缩级，逐级提升压力后从排气口排出。这种多级压缩设计让泵可直接从大气压力启动，无需前级泵辅助，且通过精密密封件隔离轴承与齿轮的润滑油，从根源杜绝油雾返流，确保真空环境清洁无油。

三、关键技术参数

CR300B在CR系列中主打大抽速性能，抽速可达300m³/h，覆盖了CR16B（16m³/h）至CR60B（55m³/h）无法满足的中高吞吐率场景。其极限真空性能优异，搭配气镇机构时，最大水蒸气处理量可达500g/h，能高效应对含湿气体环境。泵体采用空冷散热设计，无需冷却水与氮气辅助，搭载的DC密封电机兼具低功耗、高气密性与轻量化特点，整机重量控制合理，适配紧凑空间集成需求。

四、核心技术优势

1. 无油洁净运行

泵腔内部无真空油参与，转子非接触式设计消除了机械磨损，既延长了设备使用寿命，又避免了油雾污染，适配半导体芯片制造、精密光学镀膜等对杂质敏感的工艺。

2. 低成本运维

空冷设计省去了冷却水循环系统的安装与维护成本，无需轴封氮气等辅助气体，日常运维仅需常规检查，相比传统油泵大幅降低了长期运营支出。

3. 高效节能可选

可选配ECO-SHOCK节能装置，安装于排气线路后，可在不影响抽气性能的前提下降低最高80%的功耗，同时抑制泵体发热量，间接减少车间空调能耗，适合连续运行的工业场景。

4. 环境适应性强

气镇机构可防止水蒸气在泵腔凝结，提升对真空干燥、食品冻干等含湿工艺的适配能力；宽温域运行设计与良好的粉尘耐受度，让设备可在复杂工业环境中稳定工作。

五、典型应用场景

在半导体制造领域，CR300B可用于光刻、蚀刻、薄膜沉积等工艺的真空排气，抽取空气、惰性气体等洁净介质；在真空镀膜行业，为溅射、蒸镀设备提供快速抽气与高洁净真空环境，保障镀膜均匀性；在科研与分析仪器领域，适配质谱仪、电子显微镜等设备的真空系统需求；此外，还可应用于食品真空包装、医药冻干等场景，满足不同行业对真空环境的多样化需求