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池田屋精品!DONGBANG东方机械 干式真空泵 DBHP1200简介

 更新时间:2026-10-14 点击量:9

产品概述

DBHP1200 是韩国东方机械工程技术有限公司(DONGBANG PLANTECH CO., LTD.)DBHP 系列中的一款干式真空泵。该公司是韩国干式螺杆真空泵领域的代表性厂商,产品广泛应用于半导体晶圆制造、封装、刻蚀与沉积制程、化工制药、新材料合成及表面处理等领域。DBHP 系列通过差异化螺杆设计形成高真空,既可用于独立装置,也可作为涡轮分子泵、低温泵等高真空系统的辅助泵。

基本结构与工作原理

DBHP 系列采用干式单螺距螺杆结构,通过螺杆的机械性回转形成真空。螺杆采用非接触驱动方式,无需在泵内部形成油膜或水膜,因此不产生污水及废水处理费用。该结构不受外部及内部环境影响,长时间运行可保持一定的真空度。由于螺杆在所有压力范围内均可连续运行,从高真空到低真空的过渡过程中,消耗动力不随真空度变化而产生明显波动。

主要技术参数

  • 型号:DBHP1200

  • 泵类型:干式螺杆真空泵(单螺距)

  • 驱动方式:螺杆非接触驱动

  • 冷却方式:水冷(消耗较低冷却水量)

  • 法兰标准:IEC 法兰

  • 涂层:特殊特氟龙涂层

  • 适用介质:毒性、腐蚀性气体及凝缩性气体

结构与功能特点

该系列采用简化设计,以封闭式箱体结构实现小型经济化,室内亦可使用。较短的气体排出路径配合优化的排气量设计,兼顾了紧凑性与抽气效率。产品以便携型设计为出发点,安装与分离较为简单。内部结构简单化使维修与维护更加容易,有助于减少故障。螺杆与外壳的非接触驱动方式延长了使用寿命。IEC 法兰的采用便于安装,泵安装或移动时不需要对轴进行校中。

涂层与气体处理

DBHP 系列采用了耐腐蚀性较好的特殊特氟龙涂层,对毒性、腐蚀性气体及凝缩性气体的处理较为容易。这一特性使其适用于半导体制造中涉及腐蚀性气体的工艺环节,如刻蚀、薄膜沉积等。

适用场景

该系列干式真空泵主要面向半导体产业,包括晶圆制造、封装工艺、刻蚀与沉积制程中的真空抽吸。在显示屏与电子领域,可用于 LCD、PDP、OLED、AMOLED 及离子注入、金属布线、3D 玻璃等工艺。此外,还适用于二次电池、太阳能产业、锂电池原料及乙烯基复合产业等场合。在系统层面,可作为涡轮分子泵等辅助真空泵的备份使用。

生产厂商

DONGBANG PLANTECH(东方机械工程技术有限公司)总部位于韩国庆尚北道庆山市珍良邑工团9路16,邮编38475。代表理事为李東昱、李吉,营业执照编号 503-81-13624,代表电话 82-53-850-1633,传真 82-53-850-1650。该公司先后被韩国政府认定为“专业设备企业",并连续20年被韩国浦项制铁集团授予“荣誉合作伙伴"称号。公司已在中国天津东疆设立东方机械工程技术(天津)有限责任公司,布局保税研发制造项目。

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优势品牌

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