进口ULVAC爱发科大排气量多级罗茨干泵RDA 系列

进口ULVAC爱发科大排气量多级罗茨干泵RDA 系列  

进口ULVAC爱发科大排气量多级罗茨干泵RDA 系列  

特点

通过对转子轴和铝合金等主要部件进行特殊涂层处理，进行腐蚀。

采用ULVAC 设计的底座轴，实现高性能的排粉。

从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

目的

半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等。

真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。

锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上，提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计

当使用干泵时可选配，用于降低排气噪音。

特点

大气压附近的排气速度高，可以缩短排气时间。

极限压力下的功耗为0.6 kW或更低

配有专用的消音器

　极限压力下的噪音水平为61 dB（A）或更低

无需先前所需要的轴封气体

　※L型可以使用稀释气体。

排气速度120-1200 m3 / h级　※可与机械增压泵结合使用

　可以根据应用选择最佳排气能力的型号

得点

出色的消音效果

可以通过卡箍连接到泵的排气口

规格

对应标准/电压

使用上的注意

1　粉末和生成物吸入会导致泵损坏。
请使用吸气阱。

2　吸入有害气体如爆炸性气体， 有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。

3　仅供室内使用
请勿安装在下雨或淹水的地方或室外。