全新ULVAC爱发科 真空隔膜型干泵DAT-100S
全新ULVAC爱发科 真空隔膜型干泵DAT-100S
特点
通过对转子轴和铝合金等主要部件进行特殊涂层处理,进行腐蚀。
采用ULVAC 设计的底座轴,实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力,可以在全压力区域连续运行。
目的
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统,如刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统,如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统,如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统,如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上,提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计
当使用干泵时可选配,用于降低排气噪音。
价格低廉,销售量多的标准型干式真空泵。
气体接触区域不使用油的干式真空泵。
丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。
单级排气系统比两级排气系统更快。
具有锁定保护和过流保护功能等安全设计。
大气压下可以运作。
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1 | 如果在负载运作期间停止泵,然后立即重新启动,则可能无法重新启动。 在这种情况下,将泵内部恢复到大气压。 |
2 | 请不要吸入腐蚀性气体,有机溶剂,液体和可冷凝气体(如水蒸气)。 另外,请确保污垢和灰尘不会进入泵内部。 |
3 | 泵启动时会有大电流流过。 在短时间内频繁打开和关闭泵电源可能会导致问题。 不要经常频繁打开/关闭电源。 |
4 | 仅供室内使用 请勿安装在下雨或淹水的地方或室外。 |
电话
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