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全新ULVAC爱发科 标准真空泵高真空CRYO-U 系列
全新ULVAC爱发科 标准真空泵高真空CRYO-U 系列
使用 安装组件可无需支架直接搭载
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升，通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。
特点
安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器
控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
高压缩比・高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。
三种法兰可供选择
VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。
清洁真空
在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。
用途
分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H2、He等轻气体主排气系统
最大发挥了4-inch低温泵的排气特性。
高排气速度有助于提高排气效率和生产率。
特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。
1台压缩机最多可以运行四台泵。
可以根据您的应用进行设计和制造。
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 450 |
| 氢 | 500 | ||
| 氩 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 极限压力 | Pa | 10-7 | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s | 1.3×103 |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L | 1.0×107 |
| 氢 | 1.5×105 | ||
| 冷却下降时间 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
| 重量 | Kg | 14.5 | |
电话
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