新款ULVAC爱发科 标准低温泵压缩机单元
新款ULVAC爱发科 标准低温泵压缩机单元
使用 安装组件可无需支架直接搭载
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升,通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱(油容量:23~30L)减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。
特点
安装方向自由
安装方向没有限制,扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器
控制器安装在主体上,有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
高压缩比・高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。
三种法兰可供选择
VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。
清洁真空
在运行时以及泵停止时,碳氢化合物的回流很少。
用途
分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H2、He等轻气体主排气系统
电源(ACV×Φ×Hz) | 200×3×50 220×3×60 |
电力KW(50/60Hz) | 1.5/1.7 |
冷却方式水量(L/min)(20℃) | 水冷 2 |
重量(Kg) | 75 |
*油吸附器更换周期:24,000小时
*冷却水出入口 Rc 3/8
电话
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