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原装现货ULVAC爱发科 坚固型高真空泵 池田屋实业
原装现货ULVAC爱发科 坚固型高真空泵 池田屋实业
使用 安装组件可无需支架直接搭载
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升，通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。
特点
安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器
控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
高压缩比・高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。
三种法兰可供选择
VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。
清洁真空
在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。
用途
分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H2、He等轻气体主排气系统
用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机，冷却从冷冻机回来的高温氦气，使之循环。
| 型号 | ULK-04A | ULK-06A | ULK-10A | ULK-14A | |||||
| 排气速度 | 550L/sec | 500L/sec | 1,200L/sec | 1,100L/sec | 3,400L/sec | 3,000L/sec | 5,400L/sec | 4,900L/sec | |
| 极限压力 *1 | ＜2.6×10-5 Pa | ＜2.6×10-6 Pa | ＜2.6×10-5 Pa | ＜2.6×10-6 Pa | ＜2.6×10-5 Pa | ＜2.6×10-6 Pa | ＜2.6×10-5 Pa | ＜2.6×10-6 Pa | |
| 临界背压 | 40 Pa | 60 Pa | 40 Pa | 60 Pa | 35 Pa | 40 Pa | 30 Pa | 30 Pa | |
| 工作开始 时间 | 9 min | 8.5 min | 16.5 min | 15 min | 20 min | 20 min | 25 min | 25 min | |
| 液压油 *2 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | |
| 油量 | 0.15 L | 0.35 L | 0.8 L | 1.5 L | |||||
| 水温 | 19℃～25℃ | ||||||||
| 冷却水 进水口 (尺寸) | Rc 1/4" | Rc 1/4" | Rc 3/8" | Rc 3/8" | |||||
| 冷却水量 | 1 L/min | 1 L/min | 1 L/min | 1.5 L/min | 2.5 L/min | 3 L/min | 2.5 L/min | 3.5 L/min | |
| 电压规格 | 200V/1Φ V | ||||||||
| 电力需求 | 0.55 kW | 0.73 kW | 0.9 kW | 1.2 kW | 2 kW | 2.4 kW | 2.25 kW | 2.4 kW | |
| 加热器 种类 | 热板 | 热板 | 热板 | 热板 | |||||
| 推荐 辅助泵 *3 | VD151/VD201 | VD30C/VD40C/VD60C | VD90C | VS1501/VS2401/PKS-030 | |||||
| PVD-180/PVD-360 | VS1501 | ||||||||
| PKS-016/PKS-030 | |||||||||
| 外形尺寸 *4 | A | 175 mm | 250 mm | 340 mm | 340 mm | ||||
| B | 150 mm | 180 mm | 240 mm | 240 mm | |||||
| H | 344 mm | 449 mm | 650 mm | 670 mm | |||||
| 吸气口 | VG100 | VG150 | VG250 | VG350 | |||||
| 排气口 | VG25 | VG40 | VG80 | VG80 | |||||
| 重量 | 7.5 Kg | 13.5 Kg | 47 Kg | 56 Kg | |||||
| 油位计 | 无 | 无 | 视窗 | 视窗 | |||||
| 温控器 选项 | 有 | 有 | 有 | 有 | |||||
| 恒温器 设定温度 | 250 | 250 | 180 | 180 | |||||
*1 当冷却水量为20℃时，极限压力基于电离真空计。
*2 D-11是烃类通用油，D-31是具有高热稳定性的硅基扩散泵油。
*3 这里是根据扩散泵最大流量来选择辅助泵的。
通常情况下，考虑到粗抽时间，使用比这里所示的更大的机械增压泵和油回转真空泵也是合适的。
*4 关于其他尺寸，请确认本公司网站上的CAD数据（二维图纸、三维图纸）。
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