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日本ULVAC爱发科 可选零件标准真空防潮箱
操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。
灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。
可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据工艺选择测定子。
小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别最小的产品之一。
更丰富的阵容：除了模拟输出规格和串行通信规格之外，还将增加EtherCAT规格
一台三极管金属电离真空计（正在申请）：即使在恶劣的环境中，真空计的使用寿命也很长。
压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10+5～1×10-5Pa）（选配SWU10-R的情况下）。
可以精确的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。
用途
用于有机EL・触摸屏等制造设备的极限压力确认以及工艺管理用真空炉等各种工业真空设备的极限压力确认
用于在含有多种碳氢化合物（油类）的环境中进行测量
用于在真空零件加工时残留切削油和清洁液的环境中进行测量
用于需要降低测定子更换频率的真空设备
从低真空到中真空均可使用。
容易看到内部并清晰可见。
四个连接端口可用于多种用途。
两个阀组是标准设备。
有锁定功能,是可靠的。
通过金属基座实现高密封性能和高强度。
| 型号 | VDE-3 |
| 容量 | 3.3L |
| 内部尺寸 | 下端φ165×顶φ145×身高175 |
| 压力值 | 保证高达13.3Pa |
| 底板 | 4口(密封塞×2,吸气软管口φ9×2付属) |
| 封面材料 | 聚碳酸酯纤维 |
| 底板材料 | 铝制 |
| O型圈材料 | FPM |
| 重量 | 3.0kg |
| 尺寸 | W225×L213×H235 |
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