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新款ULVAC爱发科 多级罗茨型干真空泵UR600

简要描述:新款ULVAC爱发科 多级罗茨型干真空泵UR600
螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上,提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计

  • 产品型号:UR1200
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-08-10
  • 访  问  量:86
详情介绍

新款ULVAC爱发科 多级罗茨型干真空泵UR600

新款ULVAC爱发科 多级罗茨型干真空泵UR600

特点

通过对转子轴和铝合金等主要部件进行特殊涂层处理,进行腐蚀。

采用ULVAC 设计的底座轴,实现高性能的排粉。

从大气压到极限压力,可以在全压力区域连续运行。

目的

半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统,如刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等。

真空热处理炉真空排气系统,如烧结炉、渗碳炉等。

锂电池制造设备真空排气系统,如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

医疗食品设备相关的真空排气系统,如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上,提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计

规格

型号UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
机械增压泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大
排气速度
50Hz410 m3/h
(6833 L/min)
653 m3/h
(10883 L/min)
1012 m3/h
(16867 L/min)
1701 m3/h
(28350 L/min)
2700 m3/h
(45000 L/min)
到达压力
5.0 Pa
最大排气压力(吸入圧力)大气压
最大排气口压力
(排出圧力)
1.0~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排气口VG50
NW40
NW50
质量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
电源 *2三相180~240 VAC/
380~440 VAC
(50/60 Hz)
200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC
(50/60 Hz)
电流值稳定时23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷却水一次压力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷却水出入口压差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa
冷却水流量>5.0 L/min
吹扫气一次压力0.1~0.5 Mpa
二次压力0.05~0.1 Mpa
N2吹扫5 SLM
气镇0~195 SLM0~45 SLM0~195 SLM0~195 SLM

*1:请勿在UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT大于压力值200Pa的情况下进行连续运
* 没有登载规格一览表上的UR系列请另行确认



■运转方式

干式真空泵运转方式123
N流量SLM055~50*1


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