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进口ULVAC爱发科 HR1200 多级罗茨真空泵
进口ULVAC爱发科 HR1200 多级罗茨真空泵
特点
通过对转子轴和铝合金等主要部件进行特殊涂层处理，进行腐蚀。
采用ULVAC 设计的底座轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
目的
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上，提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计
| 型号 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | |||||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | ||||||
| 机械增压泵 | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||
| 最大 排气速度 | 50Hz | m3/h (L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | |||||
| 60Hz | m3/h (L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | ||||||
| 到达压力 | Pa | 5 | 0.67 | |||||||||
| 最大排气压力 （吸入圧力） | 大气压 *1 | |||||||||||
| 最大排气压力 （吸入圧力） | Pa | 1~ 大气压 | ||||||||||
| 吸气口 (CE规格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| 排气口 | KF40 | |||||||||||
| 质量 | kg | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | ||||||
| 电源 | 三相 | VAC (Hz) | 200(50/60), 220(60) | |||||||||
| 电流值 | 稳定时 | A | 7.1 (at 200V) | 11.2 (at 200V) | 7.8 (at 200V) | 12.9 (at 200V) | 15.4 (at 200V) | |||||
| 最大值 | A | 7.3 (at 200V) | 11.8 (at 200V) | 8.1 (at 200V) | 13.8 (at 200V) | 18.9 (at 200V) | ||||||
| 冷却水一次圧力 | MPa | 0.1~0.3 | ||||||||||
| 冷却水出入口压差 | MPa | >0.1 | ||||||||||
| 冷却水流量 | L/min | >5.0 | ||||||||||
| 吹扫气 | 一次压力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||||||
| 二次压力 | MPa | 0.05~0.1 | ||||||||||
| N2吹扫 | 轴 | SLM | 5 | |||||||||
| 气镇 | SLM | 0~45 | ||||||||||
*1 HR300、HR600、HR1200请勿在200Pa以上的吸入压力下连续运转。
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