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日本ULVAC爱发科 GR60A 简单结构的干泵GR系列
日本ULVAC爱发科 GR60A 简单结构的干泵GR系列
特点
通过对转子轴和铝合金等主要部件进行特殊涂层处理，进行腐蚀。
采用ULVAC 设计的底座轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
目的
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上，提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计
| 型号 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大排气速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 183(3100) | |||
| 60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 极限压力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
| 最大排气压力（吸入圧力） | 大气压 | |||||||
| 最大排气口压力（排出圧力） | Pa | 1.0 ~ 大气压 | ||||||
| 吸气口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排气口 | NW40 | |||||||
| DRP表面处理 | 〇 | |||||||
| 电机 | 输出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 电压 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
| 60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
| 质量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷却方式 | 冷却水 一次供给压力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
| 冷却水 出入口压差 | MPa | >0.1 | ||||||
| 冷却水温度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
| 冷却水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
| 氮气 | 一次侧 供给圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
| 二次侧 调整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (运作时) | ||||||
| 轴 | SLM | 5.0 *4 | ||||||
*1 极限压力是氮气（轴封气体）为5.0 SLM时的值。
*2 不结露。
*3 通过调节器调节压力计值。
*4 氮气（轴封气体）的流量固定为5.0SLM。
| 型号 | 材质 | 表面处理 | 重量(kg) | 法兰接口 | GR60A | GR90A | GR180A | |
| 消音器 | RS-01+ 套件A | SUS304 | GBB处理 | 4.1 | KF40 | 〇 | 〇 | - |
| RS-01+ 套件C | SUS304 | GBB处理 | 8.3 | KF40 | - | - | 〇 | |
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