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新品ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵消音器RS系列
新品ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵消音器RS系列
特点
通过对转子轴和铝合金等主要部件进行特殊涂层处理，进行腐蚀。
采用ULVAC 设计的底座轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
目的
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上，提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计
当使用干泵时可选配，用于降低排气噪音。
特点
■大气压附近的排气速度高，可以缩短排气时间。
■ECO-SHOCK技术实现低功耗（C型号）
极限压力下的功耗为0.6 kW或更低（LS120A-C）
■配有专用的消音器
极限压力下的噪音水平为61 dB（A）或更低
■无需先前所需要的轴封气体
※L型可以使用稀释气体。
■排气速度120-1200 m3 / h级 ※可与机械增压泵结合使用
可以根据应用选择最佳排气能力的型号
得点
出色的消音效果
可以通过卡箍连接到泵的排气口
| 消音器 套件名称 | 适用泵 | 附属品 | |||
| 卡箍 | O型座 | 连接配管 | 支架 | ||
| RS-01 套件A | CR60B,LR60,90,300,GR60A,90A | 1 | 1 | ー | ー |
| RS-01 套件B | LR600,1200 | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-01 套件C | CR300B,GR180A | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-01 套件D | CR16B,30B | 1 | 1 | 1 | ー |
| RS-02 套件A | LR180(LR60,90,300) | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 套件B | LR1800(LR600,1200) | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-03 套件A | LR421(-T) | 1 | 1 | 1 | 1 |
| RS-03 套件B | LR3601(-T/TT/R/TR/TTR) | 3 | 3 | 1 | 1 |
| EFS-11-NW25/2/2516(*1) | CR16B,30B | 1 | 1 | ー | ー |
| EFS-19-NW40/1(*1)(*2) | CR60B,300B | 1 | 1 | ー | ー |
*1 有害气体的情况下不能使用。
*2 不能连接后方配管的开放型。
Unit: dB(A)
| 型号 | 电源频率 | 消音器 | 消音效果 | |
| 无 | 有 | |||
| RS-01 | 50Hz | 81 | 70 | 11 |
| 60Hz | 88 | 69 | 19 | |
| RS-02 | 50Hz | 84 | 72 | 12 |
| 60Hz | 93 | 73 | 20 | |
| RS-03 | 50/60Hz | 71 | 67 | 4 |
*1 运转条件是在极限压力状态下导入稀释气体5SLM。
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