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新款ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵节电配件
新款ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵节电配件
特点
通过对转子轴和铝合金等主要部件进行特殊涂层处理，进行腐蚀。
采用ULVAC 设计的底座轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
目的
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
螺杆型干式真空泵。在传统LS系列的基础上，提高了该耐溶解和粉末排出性能。该型号专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计
当使用干泵时可选配，用于降低排气噪音。
特点
大气压附近的排气速度高，可以缩短排气时间。
ECO-SHOCK技术实现低功耗（C型号）
极限压力下的功耗为0.6 kW或更低（LS120A-C）
配有专用的消音器
极限压力下的噪音水平为61 dB（A）或更低
无需先前所需要的轴封气体
※L型可以使用稀释气体。
排气速度120-1200 m3 / h级 ※可与机械增压泵结合使用
可以根据应用选择最佳排气能力的型号
得点
出色的消音效果
可以通过卡箍连接到泵的排气口
| 型式 | ES10 | ES4A | |||
| 电源 | 规格 | 单相 AC100～220V 50/60Hz | 单相 AC200～220V±5% 50/60Hz | ||
| 最大功耗 | 65W *1 | 400W | |||
| 控制 | 输入 | 远程启动/停止（接点 DC24V有電圧） 接点容量2.0A以上请准备无电源接点 *2 | |||
| 输出 | 过电流报警输出(接点 无电圧) 接点容量：DC24V 1.0A | 启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报 | |||
| 显示 | 运作时间显示 | 运作时间、启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报 | |||
| 外观尺寸 | 本体单元 | 175mm×310mm×240mm | 250mmx475mmx373mm | ||
| 阀单元 | Φ66mm×110mm(NW40) *3 | 选项 | |||
| 质量 | 本体单元：8.3kg 阀单元：800g | 32kg | |||
| 质量 | G1/4" (INLET、OUTLET) 已安装连接器 | Φ16mm管接头( 推荐管的长度为1.5m以内) | |||
*1 干泵的使用工艺气体、吹扫气体 0Pam3/s*2 手动启动/停止时可以通过跳转控制连接器的PIN，来ON/OFF电路保护器。*3 ES10標配一個閥單元
| 弊社泵型号 | LR1800 | LR3601-R | ||
| 排气速度*1 | 罗茨泵 | 1784m3/hr（29700L/min） | 3200m3/hr(53333L/min） | |
| 干泵 | 237m3/hr（3950L/min） | 440m3/hr(7333L/min） | ||
| 平均功耗*2,3 | 极限压力运作时 | 没有 | 6.0kW | 7.8kW |
| ES4A安装时 | 2.7kW | 3.2kW | ||
| 消减率 | 55% | 59% | ||
| 反复排气时 *4 | 没有 | 7.2kW | 9.6kW | |
| ES4A安装时 | 5.7kW | 6.3kW | ||
| 消减率 | 21% | 34% | ||
*1 电源频率60Hz
*2 密封气体5SLM
*3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗
*4 300L腔室反复排气60秒节拍的测量示例。
| 型号名称 | LR60 | LR90 | LR180 |
| 排气速度*1 | 1300L/min | 2100L/min | 3980L/min |
| 实测功耗*2 | 2.1kW | 3.6kW | 6.6kW |
| ECO-SHOCK安装后的实测功耗*2 *3 *4 | 0.7kW | 1.0kW | 1.6kW |
| 电力消减率 | 67% | 72% | 76% |
*1 电源频率60Hz
*2 功耗为极限压力时的代表值
*3 包括ECO-SHOCK的功耗
*4 密封气体、吹扫气体流量0Pa・m3/s时。取决于密封气体、吹扫气体流量
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