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进口ULVAC爱发科 PMB100D 通用罗茨泵
进口ULVAC爱发科 PMB100D 通用罗茨泵
特点
可直连罗茨泵（MBP）
使用MBP安装组件可无需支架直接搭载MBP。
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升，通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。
用途
光学膜蒸镀设备
反射器蒸镀设备
装饰用蒸镀设备
薄膜卷绕蒸镀设备
内嵌溅射设备
烘烤炉 /热处理炉
冻干设备
检漏设备
| 型号*1 | PMB100D | PMB300D | PMB600D | PMB1200D | PMB2400D | ||||
| 最大排气速度 | 50 Hz | m3/h (L/min) | 95 (1,580) | 280 (4,670) | 500 (8,330) | 1,000 (16,667) | 2,000 (33330) | 2,500 (41,667) | |
| 60 Hz | 115 (1,920) | 330 (5,500) | 600 (10,000) | 1200 (20,000) | 2,400 (40,000) | 3,100 (51,667) | |||
| 最大吸氣壓力 | 50 Hz | Pa | 9.3×103 | 1.2×103 | 1.3×103 | 2.0×103/8.0×102 | |||
| 60 Hz | 6.2×103 | 9.3×102 | 1.1×103 | 1.5×103/6.7×102 | |||||
| 最大允許壓差 | 50 Hz | Pa | 8.0×103 | 4.0×103 | 7.3×103 | 3.5×103/4.7×103 | |||
| 60 Hz | 5.6×103 | 3.3×103 | 6.0×103 | 3.0×103/4.7×103 | |||||
| 到达压力 *2 | Pa | 4.0×10-1 | 6.7×10-1 | ||||||
| 容許驅動壓力 | Pa | ～1.0×105 ( 大气压开始型 ) | |||||||
| 电机 *3 | 出力 | kW (poles) | 0.4(2) | 0.75(2) | 2.2(2) | 3.7(2) | 7.5(2) | ||
| 200V 級 | 50 Hz | V | 200 | ー | |||||
| 60 Hz | 200/220 | ー | |||||||
| 多电压 电机 | 50 Hz | V | 220～240 / 380～415 | 200～240/380～415 | |||||
| 60 Hz | 208～240 / 380～460 | 200～240/380～460 | |||||||
| 液压油 *4 | ULVOIL R-42 | ||||||||
| 油量 | L | 0.35 | 0.7 | 1.5 | 1.9 | 4 | |||
| 冷卻方式 *5 | 空冷 | 空冷 / 水冷 | |||||||
| 冷却水 | 一次側壓力 | Mpa | ー | 0.3 | |||||
| 吸气/ 排气口壓差量 | Mpa | ー | 0.05 | ||||||
| 冷却水量 | L/min | ー | 2 | 3 | |||||
| 水温 *6 | ℃ | ー | 5～30 | ||||||
| 吸气口 JIS B 2290 | VG50 相当 | VG80 相当 | VG100 相当 | VG200 相当 | |||||
| 排气口 JIS-B-2290 | VF50 相当 | VF80 相当 | VF200 相当 | ||||||
| 外直径(尺寸) | mm | 267×576×180 | 321×685×260 | 362×784×320 | 417×970×340 | 520×1260×460 | |||
| 重量 *7 | kg | 26 | 51 | 82 | 115 | 260 | |||
| 標準粗抽泵 | VD401 | VD601 | VD901 | VS2401 | PKS-070B | VS650B | |||
| 符合规格 | CE, cTUVus | ||||||||
| 选配件 | 未经表面处理的泵，紧定法兰，大气压启动类型（逆变器), 合成油或氟油类型，润滑腔排空口，不同电压电机 | ||||||||
| 大气压驱动变频器规格/ 电压兼容 | 200V 级 | I2,A2/200V～240V(50Hz/60Hz) | |||||||
| 400V 级 | I4,A4/380V～480V(50Hz/60Hz) | ||||||||
Note)此目录使用 SI单位系统。 使用非 SI单位制的转换如下。
4.0 x 10-1 Pa = 3.0 × 10-3 Torr
*1 标准产品没有表面处理（阳极氧化涂层)。您也可以选择表面处理作为选项。
*2 用皮拉尼真空计测定。 测量条件 : 标准后备泵和标准真空油。
( 使用 McLeod 真空计测量时约为 4.0×10-2 Pa。)
*3 只有 PMB100D 可以选择 200V级或多电压的电动机。 不能使用防爆电动机的多电压选择。
*4 空冷式的使用油是R-72。还可选矿物油R-72、氟油J25F。
*5 通过选择变频器安装型号，将能够在整个压力范围内运行。
订购变频器规格时，请空冷或水冷规格。水冷逆变器无法进行空冷运行。
对于PMB600D，1200D和2400D，在300 Pa至4,000 Pa的压力范围内连续运行超过1小时可能会损坏泵。
在这种情况下，请选择水冷规格。
*6 在无结露的环境中使用。
*7 有关其他尺寸，请访问ULVAC网站并参考发布的CAD数据。
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