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原厂进口ULVAC爱发科 标准罗茨泵 池田屋实业
原厂进口ULVAC爱发科 标准罗茨泵 池田屋实业
特点
可直连罗茨泵（MBP）
使用MBP安装组件可无需支架直接搭载MBP。
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升，通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。
用途
光学膜蒸镀设备
反射器蒸镀设备
装饰用蒸镀设备
薄膜卷绕蒸镀设备
内嵌溅射设备
烘烤炉 /热处理炉
冻干设备
检漏设备
| 型号 *1 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | ||
| 最大排气速度 | 50赫兹 | 280立方米/小时 （4670升/分钟） | 500立方米/小时 （8330升/分钟） | 1000立方米/小时 （16700升/分钟） | 1500立方米/小时 （25000升/分钟） | |
| 60赫兹 | 330立方米/小时 （5500升/分钟） | 600立方米/小时 （10000升/分钟） | 1200立方米/小时 （20000升/分钟） | 1800立方米/小时 （30000升/分钟） | ||
| 最大吸气压力 | 50赫兹 | 1.2×10 3帕 | 1.3×10 3帕 | 1.2×10 3帕 | ||
| 60赫兹 | 9.3×10 2帕 | 1.1×10 3帕 | 9.3×10 2帕 | |||
最大允许压差 | 50赫兹 | 4.0×10 3帕 | 7.3×10 3帕 | 4.3×10 3帕 | ||
| 60赫兹 | 3.3×10 3帕 | 6.0×10 3帕 | 3.2×10 3帕 | |||
| 到达压力 *2 | 4.0×10 -1帕 | 6.7×10 -1帕 | ||||
| 容许驱动压力 | ～1.0 x 105 Pa（大气压开始型） | |||||
| 电机 *3 | 电机类型 | 密封三相感应电动机 | ||||
| 高效率等级 | ー | |||||
| 输出 | 0.75 kW( 2极数 ) | 2.2 kW( 2极数 ) | 3.7 kW ( 2极数 ) | 5.5 kW( 2极数 ) | ||
| 电压 (200V系统) | 50赫兹 | 200V | ||||
| 60赫兹 | 200/220伏 | |||||
| 液压油 *4 | ULVOIL R-42 | |||||
| 油量 | 0.7 升 | 1.5 升 | 1.9 升 | |||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||
| 冷却水 | 一次侧压力 | 0.3兆帕 | ||||
| 吸气/排气口压差量 | 0.01 Mpa以上 | |||||
| 冷却水量 | 2升/分钟 | 3升/分钟 | ||||
| 冷却水温 *5 | 5～30℃ | |||||
| 吸气口 JIS-B-2290 | VF80 相当/ ISO80F 或ISO100F (可选) | VG100 相当/ ISO100F (可选) | VG150 相当/ ISO160F (可选) | |||
| 排气口 JIS-B-2290 | VF80 相当/ ISO80F 或ISO100F (可选) | VF100 相当/ ISO100F (可选) | ||||
| 外直径(尺寸) W×D×H *6 | 尺寸:296×575×260 毫米 | 356×619×320 毫米 | 406×759×340 毫米 | 406×989×340 毫米 | ||
| 重量 | 51公斤 | 86公斤 | 118公斤 | 150公斤 | ||
| 标准粗抽泵 | VD601 | VD901 | VS2401 | VS2401 | ||
| 符合规格 | - | |||||
| 标准附属品 | 泵所需油量，使用说明书 | |||||
| 选配件 | 未经表面处理的泵，紧定法兰，大气压启动类型（逆变器), 合成油或氟油类型，润滑腔排空口，不同电压电机 | |||||
note)此目录使用 SI单位系统。 使用非 SI单位制的转换如下。
4.0 x 10-1 Pa = 3.0 × 10-3 Torr
*1 标准模型带有表面处理 (阳极氧化涂层)。 可选地，无需表面处理模型就可以选择。
*2 用皮拉尼真空计测定。 (测量条件 : 标准后备泵和标准真空油。)
*3 不能选配安全增强型防爆型和耐压防爆型法兰电机。
*4 油选项：可选择氟油（J25F）类型，请与我们联系。
*5 在无结露的环境中使用。
*6 有关其他尺寸，请访问ULVAC网站并参考发布的CAD数据。
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