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原装ULVAC爱发科 涡轮分子泵UTMｰMS 系列
原装ULVAC爱发科 涡轮分子泵UTMｰMS 系列
特点
可直连罗茨泵（MBP）
使用MBP安装组件可无需支架直接搭载MBP。
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升，通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。
用途
光学膜蒸镀设备
反射器蒸镀设备
装饰用蒸镀设备
薄膜卷绕蒸镀设备
内嵌溅射设备
烘烤炉 /热处理炉
冻干设备
检漏设备
涡轮分子泵，带有使用磁悬浮轴承的独立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。
泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。
排气速度300L/s～4000L/s的型号阵容。
分子泵转速在25-100%范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。
高耐用性和安全性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种安全性确认试验。
各种设备的主真空排气系统
- 半导体制造设备
- 蒸镀设备
- 溅射设备
- 研究开发设备
- 分析设备、实验装置等
主真空泵系统，用于不产生副反应生成物的轻工艺产线的真空系统。
其他的高真空排气系统。
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 进气口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 出水口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷却方式 | 水冷 | 空气 冷却 | 水冷 | 空气 冷却 | 水冷 | 空气 冷却 | 水冷 | 空气 冷却 | ||
| 极限压力*1 | 出色地 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 抽气速度*2 | 氮气 | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 和 | 升/秒 | ー | ||||||||
| 他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| 氢气 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 压缩率 | 氮气 | 1×10 9 | ||||||||
| 他 | 8× 104 | |||||||||
| 氢气 | 1× 104 | 4×10 3 | ||||||||
| 最大入口压力*3 | 出色地 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大出口压力*3 | 出色地 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 转速 | 转速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 启动时间 | 5分钟或更短 | |||||||||
| 安装位置 | 朝任意方向 | |||||||||
| 表面处理 | 镀镍 | |||||||||
| 冷却水 | 流速 | 升/分钟 | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー |
| 压力 | 兆帕G | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | |
| 噪音 | 分贝(声级) | 60 | ||||||||
| 重量 | 公斤 | 14 | 33 | 三十二 | ||||||
| 推荐前级泵 | 200L/略多 | 500L/略多 | ||||||||
| 控制器 | 作品 | 分离型 | ||||||||
| 输入电功率 | 单相AC200〜240V±10％（50/60Hz±2Hz） | |||||||||
| 最大功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
| 速度变化 | 转速在额定转速的25%~100%之间可调（设定为0.1%） | |||||||||
| 沟通 | 接触 | |||||||||
| 串口：RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | ||||||||
| 模型 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 进气口 | VG200 / ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 出水口 | KF40 | ||||||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||||
| 极限压力*1 | 出色地 | 10 -7 | |||||
| 抽气速度*2 | 氮气 | 升/秒 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 和 | 升/秒 | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | 升/秒 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
| 氢气 | 升/秒 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 压缩率 | 氮气 | 6×10 8 | 1×10 9 | ||||
| 他 | 1× 104 | 7×10 4 | 1×10 5 | 3× 104 | |||
| 氢气 | 1× 103 | 3×10 3 | 6×10 3 | 2× 103 | |||
| 最大入口压力*3 | 出色地 | 133 | 40 | ||||
| 最大出口压力*3 | 出色地 | 270 | 270 | ||||
| 转速 | 转速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 启动时间 | 7分钟或更短 | 11分钟或更短 | 12分钟或更短 | 18分钟或更短 | |||
| 安装位置 | 朝任意方向 | ||||||
| 表面处理 | 镀镍 | ||||||
| 冷却水 | 流速 | 升/分钟 | 1～3 | 2～4 | |||
| 压力 | 兆帕G | 02～0.5 | |||||
| 噪音 | 分贝(声级) | 60 | 57 | 60 | |||
| 重量 | 公斤 | 三十九 | 四十二 | 70 | 84 | 105 | |
| 推荐前级泵 | 600L/略多 | 1300L/略多 | 1500L/略多 | ||||
| 控制器 | 作品 | 分离型 | |||||
| 输入电功率 | 单相AC200〜240V±10％（50/60Hz±2Hz） | ||||||
| 最大功率 | 1.0 | 1.5 | |||||
| 速度变化 | 转速在额定转速的25%~100%之间可调（设定为0.1%） | ||||||
| 沟通 | 接触 | ||||||
| 串口：RS-232C / RS-485 | |||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | |||||
*1：表示位数。
*2：无防护网。
*3：最大入口压力和最大出口压力不能同时满足。
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