新产品ULVAC爱发科 通用涡轮分子泵YTP系列
新产品ULVAC爱发科 通用涡轮分子泵YTP系列
可直连罗茨泵(MBP)
使用MBP安装组件可无需支架直接搭载MBP。
标配热传感器
热传感器可以监测真空泵温度的异常上升,通知油量的减少和泵的异常。
内置油雾过滤器的大容量油箱
大容量油箱(油容量:23~30L)减少油的更换频率。 油箱内置方便更换的盒式滤芯。
被油雾过滤器回收的油会自动回到泵内。 油净化装置去除混入的杂质。
特点
辅助泵可以选择:辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外,还可以选择搭 载干泵的规格。
优良的停电对策:前级阀门为标配的电磁阀,防止停电时候逆流发生故障。
可确认粗抽状况:标配有皮拉尼真空计,可在粗抽排气过程中确认压力
可排气至UHV区
安装选购配件的烘烤加热器并进行脱气处理,可以排气至UHV区。 (*产品规格值)
用途
从大气压到高真空的排气系统
各种实验、研究装置的排气系统
高纯气体的真空置换
超高真空装置的粗抽排气系统
分析装置的排气系统
规格
型号 | YTP- 50MB | YTP- 50SAB | YTP- 50MB-DRY | YTP- 50SAB-DRY | YTP- 300MB | YTP- 300SAB | YTP- 300MB-DRY | YTP- 300SAB-DRY | |
吸气口 | ICF114, VG65, ISO63-K | ICF152, VG100, ISO100-K | |||||||
TMP 到达压力 *1,*2 | 烘烤后 | 10-6Pa | 10-6Pa | ||||||
烘烤 | 10-8Pa | 10-8Pa | |||||||
TMP 排气速度 *3 | N2 | 70 L/s | 280 L/s | ||||||
H2 | 49 L/s | 220 L/s | |||||||
辅助泵 排气口法兰 | G3/4 | NW16 | G1 | NW16 | |||||
辅助泵 排气速度 | 50Hz | 50 L/min | 90 L/min | 200 L/min | 250 L/min | ||||
60Hz | 60 L/min | 100 L/min | 240 L/min | 300 L/min | |||||
TMP背压・ 粗抽压力监测 | 皮拉尼真空计(2.7×103~10-1Pa) | ||||||||
前级阀门 | 带油回转泵自动排油机构的电磁阀(L型电磁阀) | ||||||||
输入电压 | 单相 AC100V(50/60Hz) | ||||||||
输入电缆长度 | 5m(带3P插座) | ||||||||
电源容量 | 1.2 kVA | 0.9 kVA | 1.7 kVA | 1.6 kVA | |||||
稳定时功率 | 0.6 kVA | 0.4 kVA | 1.0 kVA | ||||||
质量 | 55 kg | 57 kg | 86 kg | 85 kg |
*1:烘烤仅可在ICF法兰规格下进行。
*2:排气速度为无防护网时的值。
*3:无保护网下的值。
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