荏原真空泵是荏原制作所旗下的真空获得设备，在半导体制造、医疗、研究开发等领域应用广泛7。以下是关于它的详细介绍：
多级压缩原理：泵由多级转子构成，每级转子由两个反向旋转的螺杆转子组成。气体从吸入口进入泵腔后，在转子的旋转作用下，被不断压缩并向排出口方向输送，随着气体在各级泵腔中依次被压缩，其压力逐渐升高，最终实现真空环境的建立和气体的排出。
螺杆转子原理：螺杆转子是泵的核心部件，其设计使得气体在泵腔内能够高效地进行压缩和传输。转子之间的精密配合和相互啮合，确保了气体在压缩过程中的密封性和连续性，从而提高了泵的抽气效率和真空度。转子的同步旋转通过高精度的齿轮传动系统实现，保证了运转的稳定性和可靠性。
温度控制原理：泵在运行过程中会产生大量的热量，为了保证泵的性能和延长使用寿命，采用了先进的温度控制技术。通过在泵体上设置冷却夹套，利用冷却水的循环带走热量，将泵的温度控制在设定范围内。同时，还可以通过调节冷却水的流量和温度，实现对泵温的精确控制，以适应不同的工艺要求。
节能性好：搭载荏原的节能技术，如集成变频调速系统，根据负载动态调节电机功率，能耗降低 20% 以上，运行成本低19。
小型轻量化：采用优化模块设计，实现了小型化和轻量化，占地面积小，重量轻，节省安装空间，便于搬运和安装15。
耐腐蚀性能强：标准配置耐腐蚀材料，部分机型还可选配更高级的耐腐蚀性配置，如镀镍或 PTFE 涂层等，可耐受 Cl₂、H₂S 等酸性气体和有机溶剂，适用于各种腐蚀性气体环境19。
抽气速率可变：一些型号的真空泵具备抽气速率可变功能，能够根据不同的工艺需求灵活调整抽气速度，提高工艺适应性1。
通信功能强大：搭载高性能通信功能，可实现与其他设备的联网控制和数据传输，便于远程监控、故障诊断和维护，提高生产过程的自动化程度和管理效率1。
控制管理先进：具有数据保存功能、警报履历备份等先进的控制管理方式，方便用户对泵的运行状态进行记录和分析，及时发现和解决潜在问题1。
