池田屋原装BARA荏原机械 ESA700W 真空涡轮分子泵

BARA荏原机械 ESA700W 真空涡轮分子泵

一、产品概述

EBARA荏原机械的ESA700W真空涡轮分子泵专为高真空应用设计，采用涡轮分子泵原理，通过高速旋转叶片将气体分子从入口推向出口，实现快速抽气。其三级涡轮结构优化了气体动力学性能，确保在宽压力范围内的高效抽气能力，适用于半导体制造、科研实验等对洁净真空环境要求严苛的领域。该泵通常与罗茨泵或干式机械泵组成前级系统，形成完整的抽气单元，满足从粗真空到高真空的连续过渡需求。

二、详细技术参数

1. 抽气性能

• 抽气速度：在分子流区（高真空范围）表现，具体数值需根据实际工况调整，适用于快速清除气体分子负载，提升工艺效率。

• 抽气曲线：提供宽压力范围内的稳定性能，优化气体排除效率，确保从粗真空到高真空的平滑过渡。

2. 物理特性

• 尺寸与重量：紧凑型设计便于集成，重量适中以减少安装负担，具体尺寸请参考技术手册。

• 材质：采用高强度合金和耐腐蚀涂层，增强耐用性，适应半导体制造等腐蚀性环境。

3. 运行参数

• 转速范围：高速旋转（通常数千至数万转/分钟），通过动平衡技术实现低振动运行，噪音控制在50分贝以下，适用于对振动敏感的精密仪器。

• 温度范围：工作温度适应性强，内置温度监控系统防止过热，确保长期稳定运行。

4. 电气与能耗

• 电源要求：标准电压配置，支持高效电机设计，显著降低能耗，符合节能环保标准。

• 功率消耗：相比传统泵类，电力需求更低，减少长期运营成本。

5. 接口与连接

• 进气口/出气口：标准化法兰接口，便于与真空系统无缝集成，支持快速安装和维护。

• 控制接口：配备电子通信端口，支持实时数据监控和远程参数调整，增强智能控制能力。

6. 环境与安全

• 防护等级：符合工业安全规范，具备防尘和防潮特性，保障在恶劣条件下的可靠性。

• 无油设计：避免润滑油污染，特别适合洁净室和敏感工艺环境，如光学镀膜和有机合成。

7. 维护与寿命

• 维护周期：低维护需求设计，通过预防性监控减少停机时间，延长设备寿命。

• 预期寿命：在正常使用条件下，超过10年的耐用性，降低总拥有成本。

三、核心技术优势

• 高效抽气能力：涡轮叶片经流体动力学优化，减少气体回流，确保高气体负荷场景下的稳定性能。

• 节能环保：无油设计避免污染，同时高效电机降低电力消耗，支持绿色制造理念。

• 智能控制：集成电子系统，实时监测运行状态（如转速、温度、振动），支持远程调整，实现预防性维护。

四、应用场景

• 半导体制造：用于刻蚀、离子注入等工艺，提供洁净高真空环境，提升生产效率和良品率。

• 科研与实验室：在电子显微镜、粒子加速器中维持稳定真空条件，保障实验准确性。

• 镀膜与涂层技术：减少气体分子对镀膜层的污染，提高涂层均匀性和附着力。

• 新能源与化工：在锂电池制造、有机合成中排除反应气体，确保工艺安全性和产品纯度。