AA100W 是荏原制作所（EBARA Corporation）推出的一款单级、气冷式、干式螺旋真空泵。它采用无油干式压缩技术，泵腔内无需任何润滑油或密封液，因此排出的气体洁净无油雾，不会污染工艺环境或被抽容器。
该型号属于AA系列，定位于中等抽速、高可靠性、低维护的应用场景，是油旋片泵和液环泵的理想升级替代品，尤其适用于需要清洁真空且对运行成本敏感的场合。
2. 核心特性
无油、清洁真空
泵腔内无油润滑，排气不含油雾
不会产生油蒸气回流，不污染工艺气体或设备
适合半导体、分析仪器、实验室等对环境洁净度要求高的场合
气冷式设计，无需水冷
采用空气冷却（风扇强制风冷），无需连接冷却水
简化安装，降低运行成本
适合缺水或不便接冷却水的场所
单级压缩，结构简单
相比多级干泵，AA100W 结构更紧凑
维护更简便，零部件少
性价比高
耐腐蚀能力强
泵体内部流道经过特殊涂层处理（如Ni-P涂层、特氟龙涂层，视具体版本）
可耐受半导体工艺中常见的腐蚀性气体（如Cl₂、BCl₃、SF₆等）
对于可凝性蒸气（如水汽、有机溶剂）有一定耐受能力
低噪音、低振动
采用平衡良好的螺旋转子，运行平稳
无需复杂的隔振基础，可放置在机台内部或支架上
易于维护
无油品更换、无油过滤器、无油雾分离器等耗材
轴承采用长效润滑脂密封，寿命长
维护周期长，降低总拥有成本
3. 工作原理
AA100W 采用螺杆式（螺旋式）干压缩原理：
一对相互啮合的螺旋转子在泵腔内同步反向旋转
气体从进气口吸入，被转子逐渐压缩，从排气口排出
转子之间及转子与泵腔之间保持微小间隙，无需润滑剂密封
压缩热通过泵体散热片和强制风冷风扇散出
二、技术参数
注意：以下参数基于 EBARA AA100W 代表性规格整理。不同版本（如标准型、耐腐蚀型、高排气温度型）可能存在差异，请以最新规格书为准。
1. 基本性能参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 抽速（50Hz） | 约 100 m³/h（≈ 1670 L/min） |
| 抽速（60Hz） | 约 120 m³/h（≈ 2000 L/min） |
| 极限压力 | ≤ 2.0 Pa（绝对压力，约 1.5×10⁻² Torr） |
| 最大入口压力 | 大气压（1013 hPa） |
| 最大排气压力 | 大气压（直排） |
2. 电机与电气参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 电机功率 | 约 2.2 kW ～ 3.0 kW（视电压/频率） |
| 电源电压 | 三相 AC 200V～230V / 380V～460V（50/60Hz） |
| 额定电流 | 约 8A～12A（视电压） |
| 启动方式 | 直接启动或星三角启动（推荐） |
| 电机防护等级 | IP54 或 IP55（防尘防水） |
| 绝缘等级 | F 级 |
3. 冷却方式
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 冷却方式 | 强制风冷（内置风扇） |
| 环境温度范围 | 5℃ ～ 40℃ |
| 最高排气温度 | 约 80℃ ～ 120℃（视工况） |
4. 接口与连接尺寸
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 进气口法兰 | JIS VG 50 / ISO-KF 50（或 NW50） |
| 排气口法兰 | JIS VG 40 / ISO-KF 40（或 NW40，带消音器） |
| 冷却空气接口 | 自带风扇，无外部接口 |
| 吹扫气体接口 | 1/4英寸卡套接头（用于N₂吹扫，可选） |
5. 材质与耐腐蚀性
| 部件 | 材质 |
|---|---|
| 泵体 | 铸铁或铝合金（经涂层处理） |
| 转子 | 球墨铸铁（经特殊涂层） |
| 涂层（标准型） | Ni-P 化学镀镍 |
| 涂层（耐腐蚀型） | PTFE（特氟龙）或 PFA（全氟烷氧基树脂） |
| 密封件 | FKM（氟橡胶）或 FFKM（全氟醚橡胶） |
| 轴承 | 密封式深沟球轴承（长效润滑脂） |
6. 噪音与振动
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 噪音（1m处，无消音器） | ≤ 72 dB(A) |
| 噪音（带消音器） | ≤ 68 dB(A) |
| 振动 | ≤ 2.8 mm/s（RMS） |
7. 环境与安装
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 工作环境温度 | 5℃ ～ 40℃ |
| 工作环境湿度 | ≤ 90% RH（无凝结） |
| 存储温度 | -20℃ ～ 60℃ |
| 安装方式 | 水平安装（橡胶减震脚垫） |
| 防护等级 | IP54（标准型） |
8. 外形尺寸与重量
| 项目 | 尺寸（mm） |
|---|---|
| 长度（L） | 约 500 ～ 600 |
| 宽度（W） | 约 300 ～ 400 |
| 高度（H） | 约 350 ～ 450 |
| 重量 | 约 80 ～ 100 kg（视配置） |
具体尺寸建议参考产品图纸或咨询荏原代理商。
9. 吹扫（Purge）功能（可选）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 吹扫气体 | N₂（氮气）或干燥空气 |
| 吹扫流量 | 10 ～ 50 L/min（典型） |
| 吹扫接口 | 1/4英寸卡套 |
| 作用 | 稀释腐蚀性气体、稀释可凝性蒸气、冷却转子、防止粉尘堆积 |
三、典型用途与应用场景
AA100W 凭借其中等抽速、无油洁净、耐腐蚀、气冷方便等特点，广泛应用于以下领域：
| 应用领域 | 具体用途 |
|---|---|
| 半导体制造 | 蚀刻设备（干法蚀刻）、CVD（化学气相沉积）设备的反应腔预抽及工艺排气；晶圆传输腔（Load Lock）抽空 |
| FPD（平板显示） | LCD/OLED 面板制造中的沉积、蚀刻工艺腔排气 |
| LED/光电 | MOCVD（金属有机化学气相沉积）设备尾气处理前的粗抽 |
| 光伏（太阳能电池） | PECVD（等离子增强化学气相沉积）设备工艺腔排气 |
| 分析仪器 | 电子显微镜（SEM/TEM）样品交换室预抽；质谱仪前级泵；表面分析设备（XPS/AES）辅助真空 |
| 科研实验室 | 真空镀膜系统（蒸发镀、溅射镀）的粗抽；真空干燥箱；手套箱再生 |
| 一般工业 | 真空包装；真空脱气（树脂、环氧树脂）；真空吸附/搬运；热处理炉排气 |
| 化学制药 | 溶剂回收系统粗真空（需配合冷阱）；真空蒸馏（需耐腐蚀版本） |
四、与其他真空泵对比
| 对比项 | AA100W（干式螺杆） | 油旋片泵（同抽速） | 爪式干泵（同抽速） | 涡旋干泵（同抽速） |
|---|---|---|---|---|
| 排气洁净度 | 无油 | 有油雾 | 无油 | 无油 |
| 极限压力 | ≤2 Pa | ≤0.5 Pa | ≤1 Pa | ≤1 Pa |
| 耐腐蚀气体 | 良好（涂层） | 差（油易变质） | 良好 | 一般 |
| 耐粉尘颗粒 | 良好（平滑流道） | 差（油中沉积） | 良好 | 一般（涡旋盘易磨损） |
| 冷却方式 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 |
| 维护频率 | 低（每1-2年） | 高（每月换油） | 低 | 中等（换顶端密封） |
| 运行噪音 | ≤72dB | ≤70dB | ≤75dB | ≤65dB |
| 总拥有成本 | 中等（无耗材） | 高（油+过滤器） | 中等 | 中等 |
五、使用注意事项
启动前准备：
确保进气口和排气口管路连接正确且无堵塞。
确认电源电压和频率与泵铭牌一致。
检查进气口是否安装粗滤网（<100目），防止大颗粒异物进入泵腔。
腐蚀性气体处理：
对于强腐蚀性气体（如Cl₂、HCl、HF、BCl₃），建议选配耐腐蚀涂层版本（PTFE/PFA涂层），并在停机前进行氮气吹扫，将泵腔内残余气体置换干净。
建议在进气口前端安装冷阱或洗涤塔，减少可凝性蒸气进入泵体。
可凝性蒸气处理：
若工艺产生大量水汽或有机溶剂蒸气，建议开启氮气吹扫（10-20 L/min），稀释蒸气并降低其在泵腔内冷凝的风险。
保持泵的排气温度高于蒸气的露点温度（可通过降低冷却风扇风量或关闭部分散热片实现，需咨询厂家）。
粉尘颗粒物：
在泵进气口前安装高效过滤器（过滤精度 ≤1μm），防止粉尘进入泵腔磨损转子或堵塞间隙。
环境通风：
AA100W 是风冷式，必须确保泵周围有足够的通风空间（至少20-30cm），以便热空气散出。如果安装在密闭机柜内，机柜需加装排风扇。
定期检查：
每月：检查进气口滤网、排气口是否通畅；检查风扇是否正常运转；倾听有无异常噪音。
每6个月：检查所有紧固螺栓是否松动；测量电机电流是否在正常范围内。
每年：更换进气口密封圈（如有老化）；检查轴承是否有异常发热或噪音。
轴承寿命：通常为 20000 小时以上，出现异响时需更换。
停机注意事项：
如果泵用于腐蚀性气体工艺，停机前必须进行氮气吹扫（至少10分钟），将泵腔内的腐蚀性气体置换干净，防止停机后冷凝腐蚀。
长期停机（超过1个月）前，可注入少量干燥氮气，封闭进气口和排气口，防止潮气进入。
六、产品优势总结
| 优势 | 说明 |
|---|---|
| 无油 | 排气洁净，无油雾污染，适合洁净工艺 |
| 风冷设计 | 无需冷却水，安装简便，运行成本低 |
| 耐腐蚀 | 特殊涂层处理，耐受半导体工艺腐蚀性气体 |
| 低维护 | 无油品/耗材更换，维护间隔长 |
| 中等抽速 | 100-120 m³/h，覆盖多数实验室及工业需求 |
| 低噪音 | ≤68-72 dB(A)，适合室内安装 |
| 可靠性高 | 荏原品牌，全球服务网络 |
七、典型配置示例
半导体蚀刻设备配套：
主泵：AA100W（耐腐蚀涂层版）
前级：无（AA100W可直接排大气）
进气口：安装不锈钢烧结过滤器（5μm）
出气口：排气管道接至厂务排气系统
吹扫：连接N₂管路，流量20 L/min，与工艺机台联动控制
实验室镀膜系统：
主泵：AA100W（标准版）
前级：无（或配小型涡旋泵提高极限真空）
进气口：安装100目不锈钢滤网
出气口：配消音器+活性炭过滤器（吸收微量油雾）
八、总结
EBARA 荏原 AA100W 是一款中等抽速（100 m³/h）、风冷、无油、耐腐蚀的干式螺杆真空泵。其核心价值在于：
提供洁净的粗真空，无油雾污染
气冷设计简化安装，降低运行成本
耐腐蚀涂层适应半导体等严苛工艺
低维护、长寿命，降低总拥有成本
它是油旋片泵的理想升级替代品，广泛应用于半导体、FPD、LED、光伏、分析仪器、科研实验及一般工业的粗真空获取场景。
