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Product Category南国柔性软管工业株式会社(Nankoku Flexible Hose Industry Co., Ltd.)推出的 NK-2300V 真空法兰型软管,是一款专为真空系统设计的柔性连接元件,采用 JIS VG-VF 法兰组合,适用于配管误差调整、位移吸收、振动抑制及运动响应,但不适用于扭曲吸收。适用管材为 CLT(超柔性)管,内径覆盖 10A 至 100A,长度可按需定制(200mm 至 3M)。该产品允许泄漏率 ≤ 1.33 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s,适用于气体/空气介质(仅限不腐蚀不锈钢的流体),工作温度范围为 -15 至 150℃,工作压力从真空至 0.1MPa。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 品名 | NK-2300V |
| 类型 | 真空法兰型软管 |
| 适用管材 | CLT(超柔性) |
| 适用内径 | 10A ~ 100A(100A 以上可定制) |
| 标准长度 | 200mm ~ 3M(可定制) |
| 适用流体 | 气体/空气(仅限不腐蚀不锈钢的流体) |
| 工作温度 | -15 ~ 150℃ |
| 工作压力 | 真空 ~ 0.1 MPa |
| 允许泄漏率 | ≤ 1.33 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s |
| 法兰标准 | JIS VG-VF 法兰组合 |
| 法兰材质 | SUS304 / SUS316L |
| 管材材质 | SUS304 / SUS316L |
| 口径(A) | 管内径(mm) | 管外径(mm) | 板厚(mm) | 波峰高度(mm) | 波距(mm) | 弹簧常数(N/mm·波) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 25A | 33.0 | 44.0 | 0.2 | 5.3 | 6.0 | 358 |
| 40A | 50.5 | 65.0 | 0.25 | 7.0 | 7.0 | 484 |
| 50A | 66.0 | 86.0 | 0.3 | 9.7 | 10.0 | 408 |
| 65A | 78.0 | 100.5 | 0.3 | 11.0 | 11.0 | 337 |
| 80A | 78.0 | 100.5 | 0.3 | 11.0 | 11.0 | 337 |
| 100A | 103.0 | 126.0 | 0.3 | 11.2 | 12.0 | 391 |
1. JIS VG-VF 真空法兰组合
采用 JIS 标准 VG(真空用)和 VF(真空法兰)法兰组合,确保与标准真空系统配管的兼容性和密封可靠性。
2. CLT 超柔性管材
适用管材为 CLT(超柔性)管,具有优异的弯曲性能,适用于需要频繁运动或空间受限的真空管路安装环境。
3. 超低泄漏率
允许泄漏率 ≤ 1.33 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s,满足高真空系统的密封要求。
4. 真空至 0.1MPa 宽压力范围
既可承受真空负压,也可承受最高 0.1MPa 的正压,适用于多种真空工艺场景。
5. 宽温度适应范围
工作温度 -15 至 150℃,适用于从常温到中温的真空工艺。
6. 全不锈钢材质
管材、法兰均为 SUS304/SUS316L 不锈钢,耐腐蚀性好,适用于洁净真空环境。
7. 氦气泄漏测试
出厂前经过氦气泄漏测试(≤1×10⁻⁹ Torr-L/秒),确保产品密封性能。
| 应用类型 | 说明 |
|---|---|
| 真空设备管路连接 | 真空腔体与真空泵之间的柔性连接 |
| 真空配管误差调整 | 吸收真空管路安装过程中的微小偏差 |
| 真空泵振动抑制 | 减少真空泵振动向管路的传递 |
| 真空系统热位移吸收 | 吸收真空管路热膨胀引起的位移 |
| 半导体制造设备 | 真空管路系统柔性连接 |
| 分析仪器 | 质谱仪、电子显微镜等真空系统连接 |
口径匹配:确认真空管路口径(10A ~ 100A,更大口径可定制)
法兰标准:确认 JIS VG-VF 法兰是否与现有配管匹配
长度:根据安装空间和所需位移量确定软管长度(200mm ~ 3M)
工作温度:确认系统温度在 -15 ~ 150℃ 范围内
工作压力:确认系统压力在真空 ~ 0.1MPa 范围内
泄漏率要求:确认系统允许泄漏率是否 ≥ 1.33 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s
安装注意:本产品不可用于吸收扭曲,安装时需避免扭转应力
南国柔性软管 NK-2300V 真空法兰型软管通过 JIS VG-VF 法兰组合、CLT 超柔性管材及超低泄漏率设计,为真空系统提供了一种高密封性、高柔性的管路连接方案。其 10A 至 100A 的口径覆盖、-15 至 150℃ 的温度适应范围及真空至 0.1MPa 的压力适用范围,适用于半导体制造设备、分析仪器及一般工业真空系统等对泄漏率要求严格的真空管路柔性连接场景。
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