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Product Category池田屋精品！横河电机 OX400 低浓度氧化锆氧分析仪
池田屋精品！横河电机 OX400 低浓度氧化锆氧分析仪
在半导体制造、液晶面板生产、电子元件焊接及惰性气体纯化等工艺中，精确测量低至ppm级别的氧浓度是保障产品质量与生产安全的关键环节。横河电机（Yokogawa）OX400型低浓度氧化锆氧分析仪，基于氧化锆传感技术与新型薄膜沉积工艺，实现从0-10 ppm至0-100 vol% O₂的宽范围测量，其传感器寿命约为传统产品的3倍，适用于对低氧浓度监测有较高要求的各类电子与工业应用场景。本文围绕OX400的技术规格、功能配置及使用要点进行说明。
一、 产品基本规格参数
OX400低浓度氧化锆氧分析仪的核心技术指标如下：
| 参数项目 | 规格指标 |
|---|---|
| 测量对象 | 惰性气体中的氧浓度（不含可燃性气体、硅、腐蚀性气体及液体） |
| 测量原理 | 氧化锆浓差电池式 |
| 测量范围 | 0-10 ppm O₂ 至 0-100 vol% O₂（0.01 ppm分辨率） |
| 重复性 | ±1% FS |
| 线性度 | ±2% FS（0-100 ppm以上量程）；±3% FS（0-100 ppm及以下量程） |
| 响应时间 | 90%响应：10秒以内（0-1 vol%及以上）；30秒以内（小于0-1 vol%） |
| 漂移 | ±2% FS/周 |
| 采样方式 | 泵式、吸气器式、或无抽吸装置（可选） |
| 样气条件 | 流量200±25 ml/min；温度0-50℃；压力0-300 PaG（无抽吸装置时最大40 kPaG） |
| 模拟输出 | 2路：主输出4-20mA DC（最大负载550Ω）；辅助输出0-1/5/10V DC可选 |
| 数字通信 | RS-232（单向） |
| 显示 | 4位LED数字显示（主显浓度，副显参数/报警代码） |
| 电源 | 100-120V AC / 200-240V AC（50/60Hz） |
| 功耗 | 100-120V: 200VA最大；200-240V: 400VA最大 |
| 质量 | 约5kg |
| 外形尺寸 | 213(W) × 132(H) × 约375(D) mm |
| 暖机时间 | 20分钟以内 |
二、 核心技术：氧化锆传感器与薄膜沉积工艺
OX400采用横河电机自研的氧化锆传感器技术。其核心改进在于采用新型薄膜沉积工艺，在氧化锆元件与铂电极之间形成分子级键合，有效防止层间剥离，使传感器寿命延长至传统产品的约3倍。传感器采用圆柱形设计，样气可直接流经传感器内部而无延迟，有利于实现快速响应。该结构同时降低了样品气流入时空气渗入的影响，提升了低浓度（ppm级）测量的精度。
三、 采样系统配置
OX400提供三种采样方式选项，以适应不同应用场景：
泵式：内置泵主动抽取样气，适用于样气压力较低或需要稳定流量的场合。
吸气器式：利用压缩空气或氮气作为动力源进行抽吸，无运动部件，适合需要长期免维护运行的场景。
无抽吸装置：适用于样气本身具有一定压力的场合。
四、 功能与自诊断能力
多量程与自动量程切换：支持自动量程（0-10 ppm至0-100%多档自动切换）、固定量程及部分量程设定。
多流路切换（选配）：通过多选择器功能，单台分析仪可依次测量最多3个不同采样点的气体。
自诊断功能：可检测传感器错误、加热器温度异常、温度传感器断线、设备温度错误、CPU错误、风扇停止等故障状态，并以报警或错误代码形式输出。
五、 安装与校准要点
OX400为台式或面板安装型，适用于室内非防爆区域，环境温度需控制在0-40℃范围内。
校准支持3点校准（10 ppm、1000 ppm、空气）、2点校准（用户设定零点和量程气）、1点校准及空气校准等方式。
传感器可在现场更换，降低了维护成本和停机时间。
样气需不含可燃性气体、硅、腐蚀性气体及液体，以避免损坏传感器或影响测量精度。
六、 典型应用场景
半导体与液晶制造：扩散炉、干燥炉及液晶面板生产过程中的氧浓度控制。
电子焊接工艺：锡炉、回流焊炉的保护气氛氧浓度监测。
惰性气体环境控制：手套箱、气体纯化生产过程中的微量氧测量。
粉尘防爆安全：粉末输送过程中氧浓度的连续监测，预防粉尘爆炸风险。
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