池田屋精品！日本新宇宙PS-8系列Cosmos型气体检测装置

池田屋精品！日本新宇宙PS-8系列Cosmos型气体检测装置 赋能半导体工厂特气安全智能监控

摘要： 在半导体制造过程中，硅烷、氢气、砷化氢等特殊材料气体的泄漏检测是保障人员安全与生产连续性的核心环节。池田屋全新引入的日本新宇宙（Shin-Cosmos）PS-8系列Cosmos型气体检测装置，采用Cosmos系统（可更换校准传感器）与泵吸式主动采样，支持恒电位电解式、热丝半导体式及原电池式等多种检测原理，标配Modbus/TCP以太网通信与PoE供电，为半导体工厂的特气安全监控提供了高灵活性、低维护成本的智能化解决方案。

正文：

在半导体晶圆制造、薄膜沉积及刻蚀工艺中，硅烷（SiH₄）、氢气（H₂）、砷化氢（AsH₃）及磷化氢（PH₃）等特殊材料气体被广泛使用。这些气体中相当一部分具有高毒性或易燃易爆特性，其泄漏检测直接关系到人员的生命安全与生产的连续性。传统的固定式气体检测装置在传感器的长期稳定性和现场校准维护方面存在局限。为满足半导体行业对特气安全监控的高可靠性需求，池田屋引入日本新宇宙（Shin-Cosmos）PS-8系列Cosmos型气体检测装置。

新宇宙电气株式会社成立于1960年，是气体检测设备制造商。PS-8系列是其面向半导体工厂开发的Cosmos型气体检测装置，采用始于1997年的Cosmos系统——通过更换预校准的传感器单元，无需在安装现场进行气体校准，从而有效降低运营成本并确保测量的可靠性。

在核心性能方面，PS-8系列根据目标气体的不同，可搭载恒电位电解式（适用于毒性气体）、热丝半导体式（适用于氢气、甲烷等可燃气体，寿命更长）及原电池式（适用于氧气）等多种传感器原理。该系列采用泵吸式主动采样（约0.5L/min±20%），通过自动吸入流量控制确保采样稳定性。代表性检测范围涵盖可燃气体0-2000ppm及氧气0-25vol%，适配半导体工厂常见特气类型。

PS-8系列由主机（PS-8N/PS-8M）与子机（PS-8S）组成。PS-8N支持DC24V供电与RS485（Modbus-RTU）扩展通信；PS-8M支持以太网（Modbus/TCP）与PoE供电，一台PS-8M可管理多个PS-8S子机，实现按需组合不同传感器的灵活配置。主机配备大尺寸高清晰度LCD液晶显示屏，气体浓度、报警状态、流量状态及气体名称等一目了然。气体浓度模拟信号（DC4-20mA）与气体报警触点（1a干接点）可输出至DCS/PLC或联动声光报警器。

在结构设计方面，PS-8系列从正面即可完成传感器更换操作，维护便捷。尺寸为W70×H124×D172mm，主机重约850g，子机约770g。该系列为非防爆型，工作温度0-40℃，湿度30-85%RH（无冷凝）。

在应用场景方面，PS-8系列广泛适用于半导体晶圆制造的硅烷、氢气等特气泄漏检测、薄膜沉积与刻蚀工艺的气体监控、化合物半导体（GaAs、InP）制造的特气安全监测，以及光伏太阳能电池生产的硅烷气体泄漏检测。

行业观察人士指出，在半导体制造的特气安全管理中，具备高灵活性、低维护成本与网络通信能力的固定式气体检测系统，是保障生产安全与连续性的关键装备。池田屋此次引入的新宇宙PS-8系列Cosmos型气体检测装置，以其Cosmos系统免现场校准、泵吸式主动采样、Modbus/TCP以太网通信及PoE供电等核心优势，为国内半导体与光伏行业的特气安全监控提供了高效智能的解决方案。

综合来看，该系列产品的推广应用，有助于提升半导体工厂特气泄漏检测的可靠性与智能化水平，为半导体制造与新能源产业的安全生产提供坚实的技术支撑。