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近日,池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司29.2系列HV带软启动功能角阀。该产品将主阀与旁通阀集成于单一紧凑组件,压力范围覆盖1×10⁻⁷mbar至2bar(绝对压力),泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s,适配DN 100(4英寸)与DN 160(6英寸)口径,法兰标准为ISO-KF与ISO-K,阀体材质可选铝或不锈钢。通过旁通阀的逐步开启,有效避免湍流与冷凝现象,特别适用于大流量负载锁定腔室的抽真空过程,为敏感生产工艺提供精确可控的软启动隔离解决方案。
正文:
在半导体制造、平板显示及太阳能电池生产等真空工艺中,负载锁定腔室的快速抽真空是提升生产效率的关键环节。然而,当阀门在大压差条件下突然开启时,高速气流会产生湍流,可能搅动颗粒物并导致微粒污染,同时急剧的压力变化可能引发冷凝效应,对工艺参数产生不利影响。传统单一阀门在软启动功能与流量调节范围方面存在局限。针对这一行业需求,池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司29.2系列HV带软启动功能角阀。该产品的推出,为大流量敏感生产工艺提供了兼具可调软启动功能、大电导范围与紧凑设计的真空隔离解决方案。
型号29.2的核心技术优势在于其主阀与旁通阀一体化集成设计及可调软启动功能的创新结合。该产品将主阀与旁通阀组合于单一紧凑组件中,通过旁通阀的逐步开启实现软启动效果,有效避免湍流与冷凝现象。阀门侧面的调节轮可对软启动效果进行精细调节,配备11个位置标记,便于精确校准与参数复现,确保不同阀门间设定的一致性。压力范围覆盖1×10⁻⁷mbar至2bar(绝对压力),泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s。适配DN 100(4英寸)与DN 160(6英寸)口径,主阀与旁通阀提供多种组合(DN 100/DN 25旁通,DN 160/DN 25、DN 40或DN 63旁通)。法兰标准为ISO-KF与ISO-K,阀体材质可选铝或不锈钢。关闭方向压差≤2.0bar,开启方向压差≤1.2bar,开口处压差≤1bar。阀体最高耐受温度150℃,执行器最高80℃。
在结构设计与操作灵活性层面,29.2系列同样表现。产品提供气动单作用常闭与双作用两种执行器选项,配备可视位置指示与电信号输出。可选配集成PTC加热器,适用于易发生冷凝的温度敏感工艺。模块化设计便于快速简便的维护操作。
从典型应用场景来看,29.2系列适用于半导体负载锁定腔室的抽真空控制、平板显示制造中的大流量真空隔离、太阳能电池生产的真空工艺,以及各类需要避免湍流与冷凝的敏感真空工艺等场景。池田屋技术团队指出,29.2系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健,是大流量敏感真空工艺软启动隔离应用的理想选择。
池田屋实业有限公司表示,此次将VAT 29.2系列HV带软启动功能角阀引入国内市场,旨在为本土半导体与制造企业提供兼具可调软启动功能与紧凑设计的真空隔离流体管理解决方案。未来,池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕,助力中国真空技术的装备升级与效能提升。
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