池田屋新品VAT 59.0 UHV全金属可变泄漏阀59024-GE01正式发布

摘要：
近日，池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司59.0系列UHV全金属可变泄漏阀（型号：59024-GE01）。该产品采用全金属设计与镀金不锈钢膜片密封技术，可精确控制极小气体流量（1×10⁻¹⁰mbar·L/s至500mbar·L/s），压力范围覆盖UHV至10bar（绝对压力），泄漏率低于1×10⁻¹⁰mbar·L/s，适配DN 16（⅝英寸）口径与CF-R可旋转法兰。该型号专为超高真空与超高真空工艺中的高精度气体计量应用设计，为科研与制造领域提供精确可重复的气体流量控制解决方案。

正文：

在表面科学、薄膜沉积、离子注入及质谱分析等超高真空（UHV）与超高真空（XHV）工艺中，精确可控的微量气体引入是实现工艺优化的关键环节。无论是反应气体的精确配比、背景气体的精细调节，还是泄漏率的精确测量，都需要能够在极小流量范围内实现高精度、高可重复性控制的泄漏阀。传统弹性体密封泄漏阀在超高真空环境下存在释气与密封疲劳问题，难以满足真空应用的需求。针对这一行业需求，池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司59.0系列UHV全金属可变泄漏阀（型号：59024-GE01）。该产品的推出，为超高真空与超高真空工艺提供了兼具高精度气体计量、全金属密封与长寿命的综合解决方案。

型号59024-GE01的核心技术优势在于其全金属设计、宽范围可调气体流量与高精度控制的协同配合。该产品采用全金属设计——高级不锈钢阀体与镀金不锈钢膜片闸密封，具有优异的耐腐蚀性与抗侵蚀性气体能力，可避免密封疲劳风险，在整个使用寿命期间提供可靠的密封性能。可调节气体流量范围覆盖1×10⁻¹⁰mbar·L/s至500mbar·L/s，可精确控制极小的气体流量，满足超高真空工艺对微量气体引入的严苛要求。特殊控制功能可确保气体流量设定的精确性和可重复性，增强过程控制能力。压力范围覆盖UHV至10bar（绝对压力），泄漏率低于1×10⁻¹⁰mbar·L/s。适配DN 16（⅝英寸）口径与CF-R可旋转法兰，角阀死体积（阀座侧/侧端口）分别为2.7cm³/1.1cm³。执行器为手动操作（手轮），配备可视（机械）位置指示。阀体最高烘烤温度300℃，手动执行器最高300℃，带步进电机控制器最高50℃。在洁净条件下，密封关闭循环寿命达10,000次，控制循环达400,000次，无需维修，隔膜可作为备件轻松更换。

在结构设计与操作灵活性层面，59024-GE01同样表现。产品提供角阀与直通阀两种版本，执行器可选手动操作或集成式/可拆卸式步进电机压力控制器。配备可拆卸式控制器时，阀门可在最高300℃下烘烤（控制器拆卸后）。

从典型应用场景来看，型号59024-GE01适用于表面科学分析系统中的微量气体引入、薄膜沉积工艺的反应气体精确配比、离子注入设备的气体流量控制，以及质谱与气体分析系统的标准气体泄漏校准等场景。池田屋技术团队指出，59.0系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健，是超高真空高精度气体计量应用的理想选择。

池田屋实业有限公司表示，此次将VAT 59.0系列UHV全金属可变泄漏阀59024-GE01引入国内市场，旨在为本土科研与制造企业提供兼具高精度气体计量与全金属密封的真空流体管理解决方案。未来，池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕，助力中国超高真空技术的装备升级与效能提升。