池田屋新品高野紧凑型质量流量控制器SMFC-0005正式发布

摘要：
近日，池田屋实业有限公司宣布正式推出高野株式会社（TAKANO）SMFC系列紧凑型质量流量控制器（型号：SMFC-0005）。该产品为常闭型直动式电磁阀，适用流体为氮气、空气、氧气，满量程流量5L/min，可控流量范围4至100%FS（0.2至5L/min），流量控制精度±5.0%RD（2至5L/min）/±3.0%FS（0.2至2L/min），重复性±1.5%FS，响应时间2秒以内，重量约200g。该型号为精密气体流量控制系统提供紧凑、高精度的质量流量控制解决方案。

正文：

在半导体制造、分析仪器、医疗设备及环境监测等领域，气体流量的精确控制是保障工艺稳定与数据可靠的关键环节。对于中小流量的精确调节，质量流量控制器需在保证控制精度的同时具备紧凑结构与快速响应能力。针对这一行业需求，池田屋实业有限公司正式引入高野株式会社SMFC系列紧凑型质量流量控制器，型号SMFC-0005。该产品的推出，为精密气体流量控制系统提供了兼具紧凑结构与高精度控制能力的质量流量控制解决方案。

型号SMFC-0005的核心技术优势在于其紧凑化设计、高精度控制性能与快速响应的配合。该产品为常闭型（NC）直动式电磁阀，适用流体为氮气、空气、氧气，满量程流量5L/min，可控流量范围4至100%FS（0.2至5L/min），可覆盖中小流量的精确控制需求。流量控制精度在2至5L/min范围内为±5.0%RD，0.2至2L/min范围内为±3.0%FS，重复性±1.5%FS，具有较好的控制准确度与一致性。响应时间在设定流量精度±2%FS范围内2秒以内，可满足快速调节的应用需求。工作压差范围0.05至0.2MPaG，耐压0.3MPaG（流量传感器部分为0.05MPaG），允许工作温度5至50℃，允许工作湿度30至85%RH（无冷凝）。重量约200g，安装方向自由。

在电气与控制接口层面，SMFC-0005支持模拟输入（1至5V）与RS232C串行通信两种流量设定方式，设置分辨率0.01L/min，适配多种控制系统。连接器采用S10B-PH（底座）与PHR-10（外壳）规格，便于系统集成。阀门气体接触材质为PPS、不锈钢、氟橡胶、黄铜及硅胶（传感器部分），具有良好的耐腐蚀性与密封可靠性。连接端口为输入φ4或φ6/输出φ4或φ6，适配多种管路接口标准。

从典型应用场景来看，SMFC-0005适用于半导体制造工艺气体的流量精确控制、分析仪器的载气流量调节、医疗设备的呼吸气体流量控制、环境监测设备的标准气体流量供给，以及各类需要紧凑型高精度质量流量控制的装置等场景。池田屋技术团队指出，该型号在精密控制与自动化设备方面表现稳健，是紧凑型质量流量控制应用的可靠选择。

池田屋实业有限公司表示，此次将高野SMFC-0005型紧凑型质量流量控制器引入国内市场，旨在为本土精密仪器与流体控制设备制造领域提供兼具紧凑结构与高精度控制能力的电磁驱动解决方案。未来，池田屋将持续围绕精密控制、自动化设备与电磁驱动三大方向深耕，助力中国精密气体流量控制装备的国产化与小型化升级。