PILLAR SPELA 300 风囊泵 PS-10MA 技术解析

PILLAR（日本皮拉）PS-10MA 属 SPELA 300 风囊泵 PS 系列中温用机型，接液部全部采用耐化学性出色的氟树脂（PTFE、PFA），用于药液供给管路，与面向清洗循环的 PS-E 系列分工不同。

规格（PS-10MA）

脉动压力范围：吐出压力 ≥0.1 MPaG 时在吐出压力 ±12.5% 以内；＜0.1 MPaG 时在 0.03 MPa 以内。泵风囊容许差压＝供给空气压力－吐出压力。

与 PS-E 系列的关键差异

用途：PS 系列为药液供给管路，PS-E 系列为清洗装置循环管路。

压力上限更高：PS-10MA 在 10～40℃ 段供给空气压力可达 0.5 MPaG、最大吐出压力 0.45 MPaG，明显高于 PS-E10MA 的 0.3 MPaG。药液供给需克服更高管路阻力与背压，这是 PS 系列的设计取向。

脉动精度：PS-10MA 为 ±12.5%，优于 PS-E10MA 的 ±16%、PS-E20MA 的 ±24%、PS-E40MA 的 ±31%。

连接口：PS 系列连接口型号因接头种类而异，订购时必须注明，这是与 PS-E 系列的重要区别。

PS 系列中温用四型号对比

PS-10MA 为 PS 系列最小流量规格，进出口异径（IN φ19 / OUT φ12）。

安装与使用要点

配管：须使用对应连接口径的配管，泵 IN 侧配管距离应在 2m 以内。

冲程速度：须确保在 100spm 以内。

温度分段：三个温段的供给空气压力与最大吐出压力逐级下降，71～100℃ 段最大吐出压力降至 0.25 MPaG，选型须按实际液温核算。

防爆与 CMP：使用有机液体等需防爆处理时，可提供带防爆规格接近传感器的泵；使用 CMP 研磨液时建议改用专用 PC 系列研磨液用泵。

选型要点

先按用途分流：药液供给选 PS 系列（压力上限高），清洗循环选 PS-E 系列（内置脉压调节器、占地更小）。再按流量定型号：PS-10MA 12 L/min、PS-20MA 24 L/min、PS-30M 35 L/min、PS-40MA 48 L/min。液温超过 100℃ 时两系列均需改用高温用 H 后缀机型。PS 系列订购时务必注明连接口接头种类。

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