池田屋新品推出HORIBA堀场SEC-N112MGM气体流量控制器

近期我司新品发布HORIBA堀场SEC-N112MGM气体流量控制器

近期我司新品发布HORIBA堀场SEC-N112MGM气体流量控制器

发布日期

2026年4月24日

HORIBA堀场SEC-N112MGM气体流量控制器产品介绍

在工业制造与科研实验的精密气体控制领域，HORIBA堀场SEC-N112MGM气体流量控制器凭借性能与广泛适配性，成为众多行业的核心设备之一。作为HORIBA STEC N100家族中销量的模拟接口型号，它被业界誉为“小Z500"，以高性价比实现了流量控制的精准与高效，为预算敏感型场景提供了“一步到位"的解决方案。

SEC-N112MGM的核心优势在于其“一台顶多台"的强大适配能力。依托MGMR多气体/多量程技术，它能在10 SCCM至50 SLM的流量跨度内自由切换，覆盖从微量到大流量的多种需求。无论是半导体制造中精准的工艺气体配送，还是环保监测里的标气稀释，它都能通过软件快速切换气体类型与量程，无需更换硬件。这一特性不仅能减少50%以上的备件库存，还能在切换后1秒内自动完成PID参数重算，实现零停机时间，大幅降低了采购、校准与仓储成本，被多家晶圆厂纳入“降本增效"实践案例。

在半导体行业，SEC-N112MGM是刻蚀、LPCVD、ALD等关键制程的“隐形助手"。在芯片制造的刻蚀环节，它能精准控制SiH₄、PH₃、NF₃等工艺气体的流量，确保刻蚀深度与图案精度符合纳米级标准；在薄膜沉积过程中，稳定的气体流量输出保障了薄膜厚度均匀性，直接影响芯片的性能与良率。其全金属密封结构与316L EP管路材质，能有效避免气体污染，满足半导体制造对超高洁净度的严苛要求。

光伏产业也是SEC-N112MGM的重要应用场景。在PERC、TopCon电池的扩散与PECVD工艺中，它负责精准调控NH₃、B₂H₆、N₂O等气体的流量，助力电池实现更高的光电转换效率。在LED与OLED制造的MOCVD反应腔中，它既能稳定输送载气，又能精准控制反应气体配比，保障发光材料的均匀沉积，提升屏幕显示效果。此外，在燃料电池研发中，它可用于氢气与空气的计量与泄露测试，为新能源技术的安全验证提供可靠支持。

在环保与科研领域，SEC-N112MGM同样发挥着关键作用。在CEMS烟气排放连续监测系统中，它能精准稀释标气，确保监测数据的准确性；在实验室手套箱气氛控制中，它可稳定调节惰性气体流量，为敏感实验提供稳定环境。其快速响应特性与高精度控制，让科研人员能更精准地开展气体相关实验，加速科研成果转化。

凭借紧凑的体积与灵活的安装方式，SEC-N112MGM能轻松适配各类工业设备与实验装置，支持任意角度安装，极大降低了系统集成难度。无论是在洁净度要求严苛的半导体厂房，还是在空间有限的科研实验室，它都能稳定运行，为各行业的精密气体控制提供可靠保障