产品分类
Product Category近期我司新品发布ULVAC爱发科 真空泵 CR300B
近期我司新品发布ULVAC爱发科 真空泵 CR300B
发布日期
2026年4月29日
ULVAC爱发科 真空泵 CR300B产品介绍
在现代工业与科研领域,对真空环境的洁净度、抽气效率及运行成本要求日益严苛,ULVAC爱发科CR300B多级罗茨型干式真空泵正是为满足这类需求而生的核心设备。作为CR系列中的大抽速型号,它凭借无油洁净、高效节能、适配性强等优势,成为众多高要求场景的理想选择。
CR300B的核心优势首先体现在无油洁净的运行特性上。它采用非接触式转子设计,转子与壳体间保持微小间隙,无需真空油润滑。轴承和齿轮等旋转部件的润滑油通过精密密封件严格隔离,杜绝了真空油返流和油雾污染问题。这一特性使其能为半导体制造、精密镀膜等对容忍的工艺,提供纯净无油的真空环境,有效避免了油蒸气对产品质量和设备精度的影响。同时,无接触运行大幅减少了机械磨损,显著延长了泵的使用寿命,降低了设备的维护频率和长期运营成本。
空冷设计是CR300B的另一大亮点。相较于传统水冷式真空泵,它无需配备复杂的冷却水循环系统,免去了冷却水配管安装、水质管理等一系列繁琐工作,不仅降低了初期安装成本,还减少了对公用工程的依赖。即使在冷却水供应不便的偏远厂区或科研实验室,CR300B也能稳定运行。此外,它无需轴封氮气等辅助气体,进一步简化了运行条件,让设备部署更加灵活。
在抽气效率方面,CR300B以300m³/h的大抽速脱颖而出,能快速实现腔室抽空,大幅提升工艺周转效率。比如在真空镀膜前的腔室准备阶段,它可以在短时间内将腔室压力降至工艺要求范围,减少等待时间,提高生产节拍。同时,紧凑的机身设计让它在批量生产型真空设备的集成中具备良好适配性,无需占用过多空间,便于工厂进行生产线布局优化。
CR300B的功能扩展性也为其加分不少。它可选配气镇机构,引入干燥气体防止水蒸气在压缩过程中凝结,最大水蒸气处理量可达500g/h,特别适用于真空干燥等需大量排水的应用场景。此外,可选配的ECO-SHOCK节能装置,能在不影响抽气性能的前提下,将电力消耗最大减少80%,同时抑制泵体发热量,间接降低车间空调能耗,为企业实现低碳生产提供有力支持。
凭借CE、cTUVus国际标准认证,CR300B可在全球范围内无障碍应用,无需针对不同地区进行特殊调整,为跨国企业的设备标准化部署提供了便利。
在应用领域上,CR300B的身影遍布多个行业。在半导体制造中,它为晶圆清洗、光刻、薄膜沉积等环节提供稳定的洁净真空环境,保障芯片加工精度;在真空镀膜行业,它满足了溅射、蒸镀等工艺对高清洁度和快速排气的双重需求,助力生产出均匀致密的薄膜产品;在科研领域,它为分析仪器、材料研发等提供可靠的真空条件,支持高精度实验开展;在医药和食品行业,它的无油特性避免了污染,可用于药品真空干燥、食品真空包装等场景,保障产品安全与品质。
电话
微信扫一扫