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Product Category近期我司新品发布ANELVA 离子泵 912-7060
近期我司新品发布ANELVA 离子泵 912-7060
发布日期
2026年5月6日
ANELVA 离子泵 912-7060产品介绍
ANELVA 是日本的真空技术品牌，现隶属于 Canon ANELVA 集团，其离子泵产品以无油、无振动、无磁性干扰的纯净抽气特性，在半导体制造、表面科学、粒子加速器及空间环境模拟等超高真空领域享有声誉。912-7060 是 ANELVA 旗下的一款高性能溅射离子泵，专为需要真空度且绝对洁净的工艺环境而设计。以下从产品概述、核心特点与典型用途三个方面进行介绍。
912-7060 属于 ANELVA 的 912 系列离子泵，型号中的“7060"通常代表泵体的尺寸规格或抽速等级。离子泵是不同于机械泵或分子泵的真空获得设备，它没有任何运动的机械部件，也不使用任何油类作为工作介质。其工作原理是利用高压电场将残余气体分子电离，电离后的离子在电场作用下加速轰击阴极钛板，将气体分子“埋入"钛层中，或与钛原子反应生成稳定的化合物（如 TiN、TiC），从而将气体从真空中移除。
与涡轮分子泵或低温泵相比，离子泵的在于它不向真空腔内引入任何碳氢化合物污染，也不产生机械振动或强磁场干扰。912-7060 继承了 ANELVA 在离子泵领域数十年的技术积累，采用二极型或改进型潘宁放电单元结构，具有启动压力宽、极限真空度高、长期稳定性好的特点，是超高真空系统中的“抽气"设备。
1. 绝对无油的洁净真空
912-7060 的抽气过程不涉及任何油类介质。传统油封式旋片泵或扩散泵在工作时，油蒸气会不可避免地返流至真空腔内，污染样品表面。而在离子泵中，与气体接触的金属元件是钛阴极和不锈钢阳极，没有任何有机物质。因此，912-7060 产生的真空是真正的“干式"洁净真空，特别适合表面分析、分子束外延等对碳氢化合物污染极度敏感的工艺。
2. 无振动运行，适用于精密仪器
由于离子泵没有旋转部件或往复运动的活塞，它在工作时几乎不产生任何机械振动。这对于扫描电子显微镜、透射电子显微镜、原子力显微镜以及电子束光刻机等对振动极为敏感的仪器至关重要。将 912-7060 安装在这些设备的真空系统上，不会给成像分辨率带来任何负面影响。
3. 无磁场干扰（或极低漏磁）
传统的离子泵内部需要使用强永磁体来约束电子的运动轨迹，但部分仪器（如电子显微镜、电子束曝光机）对杂散磁场非常敏感。ANELVA 在 912-7060 的设计中特别优化了磁路结构，通过屏蔽和磁路闭合技术，将泵体外的漏磁通降低水平。对于需要将离子泵直接安装在电子光学柱附近的场合，还可选配磁屏蔽罩，进一步降低干扰。
4. 宽工作压力范围与高极限真空
912-7060 可以在从 10⁻² Pa 到 10⁻⁸ Pa 甚至更宽的压力范围内工作。它可以在分子泵或低温泵预抽至中等真空后启动，并独自将系统抽至 10⁻⁷ Pa 以下的超高真空。在 bakeout（烘烤）之后，极限真空度可达 10⁻⁸ ~ 10⁻⁹ Pa 量级，满足绝大多数超高真空应用的需求。
5. 对惰性气体也有一定抽速
普通的二极型离子泵对惰性气体（如氩气、氦气）抽速较低，这是因为惰性气体不与钛反应，且被掩埋后容易再次释放。912-7060 采用了改进型的阴极结构（如三极型或惰性气体增强型设计），对惰性气体的抽速显著提升。这对于溅射镀膜设备（使用氩气作为工艺气体）尤为重要。
6. 长寿命与低维护
离子泵没有磨损部件，的消耗品是钛阴极板。当钛板被气体轰击消耗到一定程度后，抽速会下降，此时只需更换阴极板即可恢复性能，而无需更换整个泵体。在洁净的真空系统中，阴极板的寿命可达数年甚至十年以上，维护成本极低。
基于上述特点，912-7060 在以下领域发挥着不可替代的作用：
1. 半导体与电子束制造
电子束光刻机：电子束光刻需要真空（<10⁻⁷ Pa）下进行，以避免电子与气体分子碰撞导致束流散射和能量损失。912-7060 的无振动、无磁场特性与电子束光刻的苛刻要求匹配。
分子束外延设备：MBE 生长超薄半导体异质结时，背景真空中的残余气体（如水蒸气、碳氢化合物）会作为杂质掺入外延层，严重降低材料质量。离子泵提供的无油超高真空是获得高纯度外延层的基本保障。
2. 表面科学分析仪器
X 射线光电子能谱仪：XPS 分析的是样品表面几个纳米深度的信息，任何表面污染都会导致谱图失真。ANELVA 912-7060 为 XPS 分析腔提供洁净真空，确保检测到的信号源自样品本身而非吸附的污染物。
俄歇电子能谱仪、二次离子质谱仪：同样依赖超高真空环境，离子泵是其标准配置。
3. 粒子加速器与同步辐射
储存环真空系统：在粒子加速器中，残余气体分子会与束流粒子碰撞，导致束流寿命缩短和背景辐射增加。离子泵被广泛用于加速器的直线段和弯转段，维持 10⁻⁸ ~ 10⁻⁹ Pa 的超高真空。
光束线站：同步辐射光束线上的光学元件（如单色器、反射镜）对碳污染极为敏感，离子泵提供的洁净真空可显著延长元件寿命。
4. 空间环境模拟
航天器真空热试验：在地面模拟太空超高真空环境时，离子泵是获取高真空的主力设备之一。其无振动特性也避免了对航天器敏感部件（如光学瞄准镜、陀螺仪）的干扰。
电推进器测试：电推进器（如离子推力器、霍尔推力器）本身的工作原理与离子泵类似，测试时需要在高真空下进行，以防推进剂气体污染试验舱。
5. 真空镀膜与薄膜研究
超高真空溅射镀膜：当需要制纯度的金属薄膜或氧化物薄膜时，背景真空中的残余气体会成为污染源。离子泵作为主抽泵或维持泵，帮助系统快速达到 10⁻⁷ Pa 以下的压力。
石墨烯及其他二维材料制备：在超高真空下进行样品退火和生长，离子泵确保腔体长期维持清洁状态。
6. 科研实验室与高校
超高真空综合实验平台：在物理系、材料系的实验室中，学生使用离子泵搭建超高真空系统，进行表面物理、薄膜生长等基础研究。
启动条件：离子泵不能在常压下启动，必须在系统预抽至 10⁻² ~ 10⁻¹ Pa 以下（通常由分子泵或涡轮分子泵实现）后才能通电启动。否则高压放电会引起打火，损坏电源和泵体。
烘烤：为达到 10⁻⁸ Pa 以下的极限真空，必须对整个真空系统（包括离子泵本身）进行 150°C ~ 250°C 的真空烘烤，以去除器壁吸附的水汽。
电源匹配：必须使用 ANELVA 原厂或认证的高压电源（通常输出电压 3-7 kV），不可用普通直流电源替代。电源应具备过流保护和灭弧功能。
阴极更换：当离子泵在高电压下的电流明显下降（抽速衰减）或颜色变黑时，需要更换钛阴极板。更换后需要进行老炼处理（逐步升高电压至工作值）。
磁场干扰防护：对于磁场敏感设备，建议安装磁屏蔽罩，并保持泵体与电子光学柱之间至少 30cm 的距离。
ANELVA 912-7060 离子泵是一台专为超高真空与绝对洁净环境打造的“抽气"设备。它以无油、无振动、低磁干扰的独特优势，在半导体制造、表面科学、粒子加速器及空间模拟等领域占据着不可替代的地位。虽然离子泵的抽速相对于分子泵或低温泵较小，且无法在大气压下工作，但它在超高真空区的表现以及对纯净度的追求，使其成为那些对污染极度敏感的工艺中的一环。在全自动化的晶圆厂里、在精密表面分析仪器的真空腔内、在粒子加速器的束流管道旁，ANELVA 912-7060 安静地、持续地抽取着最后一丝气体，为人类的科技进步提供着最纯净的真空环境。
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