池田屋新品推出EBARA荏原 单干式真空泵 EV-SA20

近期我司新品发布EBARA荏原 单干式真空泵 EV-SA20

近期我司新品发布EBARA荏原 单干式真空泵 EV-SA20

发布日期

2026年5月20日

EBARA荏原 单干式真空泵 EV-SA20产品介绍

EBARA（荏原制作所）是的真空泵及流体机械制造商，其干式真空泵技术在半导体、化工、制药等领域享有盛誉。EV-SA20 属于荏原单级干式真空泵系列中的一款紧凑型主力机型，核心定位是：提供无油、无水的洁净真空环境，并能够耐受工艺介质的腐蚀与颗粒物挑战。

与传统的油旋片泵或水环泵不同，EV-SA20 采用干式压缩原理——泵腔内部无需任何液体作为密封或润滑介质，从而排除了油气、油雾或水蒸气对被抽系统或车间环境的污染。它不是为了取代小型实验室旋片泵而生，而是面向需要连续运行、频繁启停、介质复杂的工业级应用场景。

核心特性（非参数化描述）

1. 真正的“干式"与清洁真空
EV-SA20 在整个抽气路径中不使用油或水。这意味着：

• 排出的气体中不含油雾或水汽，无需后处理即可直排大气。

• 回收的工艺气体纯净无污染，适用于贵重气体（如氦气、氩气）回收。

• 泵腔内无积油、无乳化液问题，常年保持清洁状态。

2. 耐受腐蚀性气体与可凝性蒸气
标准型 EV-SA20 针对真空镀膜、分析仪器、干燥工艺中常见的弱酸性气体、有机溶剂蒸气等进行了材质与间隙优化。泵体内部关键接触部件采用耐腐蚀涂层或特殊材料，可短暂耐受低浓度酸/碱蒸气及可凝性气体。对于高腐蚀应用，荏原提供特殊涂层版本。

3. 处理颗粒物与粉尘的能力
因为无油润滑，泵腔间隙相对略大，且气流路径平滑，细小粉尘或颗粒物（如碳粉、金属碎屑、催化剂粉末）不易在泵内沉积。泵体内部设计有专门的颗粒物排出通道，多数微小颗粒可直接随排气吹出，不会卡死转子。这是油泵或涡旋泵难以做到的。

4. 低运行噪音与低振动
EV-SA20 采用特殊轮廓的螺杆转子或罗茨转子（具体构型随代次不同），动平衡精度高。相比同规格油泵，其整机噪音更低（尤其在50-60Hz工况下），振动极小，无需专用混凝土基础，可放置在机台内部或桌面支架上。

5. 简易维护与长保养周期
由于没有油品、油过滤器、油雾分离器等耗材，EV-SA20 的日常维护工作量极低。用户仅需定期：

• 检查排气口是否有堵塞。

• 清洁进气口滤网。

• 若工艺中存在严重可凝物，可执行“氮气吹扫"或“溶剂冲洗"再生程序（泵体设计兼容）。
  主要轴承采用长效润滑脂密封，无需频繁加注。正常使用下，大修周期远超油泵。

典型用途与应用场景

1. 半导体与电子制造（非超净级）

• 封装设备：固晶机、点胶机中的真空吸附，避免油蒸气污染引线框架或金线。

• 贴片机 / 分选机：吸嘴用真空源，要求快速响应且无油雾。

• LCD / OLED 维修设备：小型真空腔体抽空，配合检漏仪器。

2. 分析仪器与科研

• 电子显微镜（SEM/TEM）辅助泵：用于样品交换室或预抽，避免油分子污染主腔体。

• 质谱仪前级泵：提供清洁真空，防止油峰干扰质谱图。

• 表面分析（XPS、AES）：同样要求极低的碳氢化合物残留。

• 材料研究中的真空干燥、真空脱气：尤其适用于易氧化粉末或聚合物，避免油雾吸附。

3. 制药与生物工程

• 冷冻干燥机：作为前级泵配合分子泵，确保冻干舱内无油蒸气，避免药品污染。

• 离心浓缩仪：抽除有机溶剂蒸气（如乙腈、甲醇），油泵会因溶剂稀释而损坏，而 EV-SA20 可耐受。

• 负压隔离器 / 手套箱再生：用于维持低真空度，同时保证箱内环境纯净。

4. 一般工业与实验室辅助

• 真空干燥箱 / 真空烘箱：抽除水汽及低沸点溶剂，无油污染样品。

• 真空灌封 / 脱泡：环氧树脂、硅胶在真空下除去气泡，EV-SA20 可抽除反应生成的小分子气体。

• 印刷电路板（PCB）真空压合机：提供稳定粗真空，无油污风险。

• 食品包装机中的真空 / 气调包装：满足食品级卫生要求（无油）。

与油泵及其他干泵的对比优势

与爪式泵、涡旋泵相比，EV-SA20 在颗粒物耐受和可凝物处理方面更具优势，且结构更简单、对安装环境要求更低。

安装与使用注意事项（不含参数）

EV-SA20 在设计上力求“即连即用"。用户仅需：

• 连接合适的电源电压（单相或三相，依型号定）。

• 进气口安装相应口径的真空管路，建议加装粗滤网（如100目）以防止大颗粒异物。

• 排气口保持通畅，若排至室内需确保通风。

• 对于含有大量可凝性蒸气（如高浓度丙酮）的工艺，建议在进气口前加装冷阱，以保护泵内部并提高抽速。

泵体具备过热保护、过载保护，且启动快速，无需预热。允许在大气压下直接启动，也可长期连续运行。

总结

EBARA 荏原 EV-SA20 单干式真空泵是一款面向工业与高级实验室的无油、洁净、耐腐蚀、可处理粉尘的可靠真空获取设备。它不是追求极限真空度（油泵通常更低）的产品，而是在10⁵ Pa 到 1 Pa 压力范围内，提供 洁净无污染、低维护、高可靠性 的真空解决方案。