池田屋新品推出KASHIYAMA  干泵 SDL30K-JM028-A

近期我司新品发布KASHIYAMA  干泵 SDL30K-JM028-A

近期我司新品发布KASHIYAMA  干泵 SDL30K-JM028-A

发布日期

2026年5月26日

KASHIYAMA  干泵 SDL30K-JM028-A产品介绍

在半导体、平板显示、光伏以及化学工业领域，获得清洁、稳定、无油污染的真空环境是诸多核心工艺的前提条件。KASHIYAMA（樫山工业）作为日本真空技术品牌，凭借数十年在干式真空泵领域的深耕，已经成为全球制造业中备受信赖的供应商之一。其推出的SDL系列干式真空泵，专为严苛的工业环境设计，而型号 SDL30K-JM028-A 则是该系列中一款兼顾抽速、节能与耐腐蚀性的代表产品。

“干式真空泵"的核心价值在于：泵体的工作腔内不使用油类介质进行密封或润滑，从而避免了油气返流对工艺腔室的污染，也无需定期更换大量的真空泵油。SDL30K-JM028-A 正是基于这一理念，采用先进的螺旋爪式（或罗茨+爪式复合）转子结构，实现了清洁排气、低运行成本和长期稳定性的统一。

二、产品核心特性（非技术参数视角）

从实际应用特性来看，SDL30K-JM028-A 具有以下几项突出优势：

1. 无油洁净排气

该泵的转子与腔体之间采用精密的微米级间隙设计，无需任何润滑油或密封液就能实现高气密性。这意味着被抽气体不会接触到油类物质，特别适合对碳氢化合物污染极其敏感的工艺，例如真空镀膜、晶圆加工或锂电池注液前的除气步骤。同时，排气侧也不会因油雾而产生白烟或污染物残留，有利于环保排放。

2. 优异的耐粉尘与耐腐蚀能力

SDL30K-JM028-A 在材质与结构上针对恶劣工艺条件进行了强化。其内部流道经过优化设计，减少了粉尘堆积的死角；转子表面及泵腔内壁可选用特殊涂层（如镍磷涂层或氟树脂涂层），能够耐受氟系、氯系等腐蚀性气体的侵蚀。这使得它可以直接用于刻蚀、CVD（化学气相沉积）等会产生副产物粉尘和活性气体的半导体工序，而不需要频繁拆洗。

3. 稳定的抽速与低压力运行

该泵在全压力范围内（从大气压到高真空）都能保持较高的抽气效率，尤其在1 Torr 至大气压这一中低真空区域表现突出。它既可以作为独立的主泵使用，用于真空干燥、真空包装或真空吸附等场景；也可以作为前级泵，配合涡轮分子泵或冷凝泵组成多级抽气系统，帮助后者快速跨过分子流过渡区，提高整体系统的抽气效率。

4. 智能温控与节能运行

干式泵在工作时转子高速旋转会产生热量，SDL30K-JM028-A 配备了内部冷却回路和智能温控系统。在启动阶段，泵体会较快升温至最佳工作温度，避免工艺气体在内部冷凝形成液体残留；在待机或轻载时，系统可自动降低转速或进入节能模式，显著降低电力消耗和冷却水用量。这对于需要24小时连续运转的工厂而言，每年可节省可观的能耗成本。

5. 低噪音与紧凑布局

相比同等抽速的油封式机械泵，SDL30K-JM028-A 采用先进的消音技术和动平衡转子，运行时振动小、噪音低，无需建设单独隔音泵房即可布置在洁净车间或实验室内。其紧凑的落地式或模块化设计，使得设备维护和管线连接更加灵活，尤其适合空间有限的设备改造项目。

三、主要用途详解

SDL30K-JM028-A 干式真空泵并非通用泵，而是针对中高要求的工业真空应用设计。其主要应用场景包括：

1. 半导体制造前道工序

在等离子体刻蚀、CVD薄膜沉积、离子注入等工艺中，腔室内部会生成大量反应副产物（如硅氧化物、聚合物残渣）以及腐蚀性气体（如CF₄、Cl₂、BCl₃）。SDL30K-JM028-A 凭借其耐腐蚀涂层和高温运行设计，能够持续将这些有害气体排出，同时防止粉尘在泵内积聚导致转子卡死。它是许多8英寸、12英寸晶圆生产线中的真空基础设备。

2. 平板显示器与太阳能电池生产

在FPD（液晶/OLED面板）和光伏太阳能电池的制造过程中，同样大量使用PECVD、溅射和刻蚀设备。这些设备的工艺腔室尺寸大、气体流量高，需要抽速大且能够耐受非晶硅粉尘的干式泵。SDL30K-JM028-A 通常以多泵并联或一拖二的形式工作，确保整个生产线的真空度一致性，避免因某台泵故障导致整条镀膜线停机。

3. 真空镀膜与表面处理

对于工具涂层（如TiN、CrN）、装饰镀膜（如卫浴五金、钟表壳）以及光学镀膜（如AR减反射膜），真空系统需要从大气压快速抽至10⁻³ Pa以下，并在工艺过程中持续排出水汽和未反应的气体分子。SDL30K-JM028-A 可作为主泵或粗抽泵，帮助镀膜机缩短循环时间、提高镀膜附着力。其无油特性也避免了油分子污染光学薄膜，造成透过率下降或针孔缺陷。

4. 锂电池与电容器干燥工艺

锂电池电极片、隔膜以及电解液注液前的烘烤除水工序，需要在真空环境下加热以加速水汽蒸发。如果使用油封泵，水汽与油混合后容易乳化变质，且油蒸汽可能回流到烘箱内污染极片。SDL30K-JM028-A 的干式设计使其能够耐受水蒸气和少量有机溶剂蒸气，长期稳定运行而无需频繁换油，大大降低了超级电容器、动力电池生产线的维护工作量。

5. 化学实验室与中试装置

在高校、研究所或医药化工企业的合成实验室中，需要无水无氧环境下的反应操作（如Schlenk技术、手套箱连接）。SDL30K-JM028-A 因体积适中、只需单相电源即可驱动（视具体电机配置），可作为高等级实验台的集中真空源。同时，它不会像油泵那样在使用中持续排出油雾污染环境，更适合安装在开放式实验区域。

6. 真空干燥与食品/药品包装

对于需要快速移除水分的物料（如热敏性原料药、生物制品冻干），以及要求无油污染的真空包装（如电子元器件防潮包装、高档茶叶），SDL30K-JM028-A 可以提供干净、稳定的负压环境。其长期连续运转能力（无需像油泵那样每班检查油位）有助于提高包装线的自动化程度。

四、适用设备与环境

SDL30K-JM028-A 通常作为以下设备的内置或配套真空源：

• 半导体刻蚀机、PECVD/CVD设备

• 真空镀膜机（蒸发镀、溅射镀）

• 真空干燥箱、真空烘箱

• 锂电池注液机、真空除气室

• 手套箱过渡舱抽空系统

• 中央真空系统（多泵并联）

使用环境方面，应安装在通风良好、环境温度适宜（一般5-40℃）、无严重振动的场所。建议定期检查排气口是否有异物堵塞，并根据工艺气体种类决定清洗内部腔体的周期。若抽除含可凝性蒸气（如大量水汽、溶剂）的气体，建议启动前开启泵的预热功能或配置进气口吹扫装置，以防止蒸气在泵内冷凝。

五、总结

KASHIYAMA SDL30K-JM028-A 干式真空泵是一款面向现代精密制造业的洁净真空动力核心。它通过无油转子设计、耐腐蚀处理和智能温控系统，解决了传统油封泵易污染、抗腐蚀差、维护频繁的痛点。无论是对清洁度要求的半导体前端工艺，还是需要批量处理物料的光伏/锂电池生产线，这款泵都能提供稳定、高效、低维护成本的真空保障。