池田屋新品推出ESD防静电真空吸笔 C003-Y-99-CP（12英寸晶圆用）

池田屋新品推出ESD防静电真空吸笔 C003-Y-99-CP（12英寸晶圆用）

池田屋新品推出ESD防静电真空吸笔 C003-Y-99-CP（12英寸晶圆用）

摘要

池田屋实业（深圳）有限公司近日推出C003-Y-99-CP ESD防静电真空吸笔，专为12英寸（300mm）半导体晶圆搬运设计。该产品为NO+SW（常开+开关）阀门类型，采用固定式接头，总长300mm，重量31g。主体采用导电尼龙材质，采用导电PEEK材质，可有效减少静电对晶圆的影响。阀体内壁经过精细抛光处理，最大限度减少颗粒产生。适用于12英寸半导体晶圆搬运、芯片处理、洁净室操作及深腔体设备取放等静电敏感应用场景。

正文

在先进半导体制造工艺中，12英寸（300mm）晶圆已成为主流规格，其更大的尺寸与更高的集成度对搬运工具提出了更严格的要求。操作人员与晶圆之间的操作距离增加，深腔体工艺设备的取放操作对吸笔的长度与防静电性能提出了更高要求。传统的8英寸用吸笔在长度与吸力设计上难以满足12英寸晶圆的安全搬运需求。针对12英寸晶圆搬运中对操作距离、ESD防护与低颗粒产生的多重需求，池田屋实业（深圳）有限公司推出C003-Y-99-CP ESD防静电真空吸笔。该产品现已正式供应，为12英寸晶圆安全搬运提供专用的解决方案。

C003-Y-99-CP是C系列ESD真空吸笔中专为12英寸（300mm）半导体晶圆设计的产品，总长达300mm，较8英寸用标准型（247mm）延长了53mm，充分满足大尺寸晶圆在深腔体设备、高壁容器及洁净室特定布局下的远距离操作需求。产品采用NO+SW（常开+开关）阀门类型，在未按压开关时保持真空吸附状态，操作者可通过按压开关释放晶圆。这一设计特别适合需要长时间保持吸附的搬运作业，显著减轻操作人员的手指疲劳，提高操作效率。固定式接头确保与真空管路连接的可靠性与气密性。

在材质与静电防护方面，C003-Y-99-CP主体采用导电尼龙材质，采用导电PEEK（聚醚醚酮）材质。导电尼龙具有良好的静电消散性能，可将操作过程中产生的静电安全导地，避免静电积累对晶圆上精密电路的潜在损伤。导电PEEK具备优异静电防护性能的同时，具有良好的耐磨性与耐化学性，且硬度低于硅材料，不会划伤晶圆表面。阀体内壁经过精细抛光处理，最大限度减少阀芯运动过程中因摩擦产生的颗粒，满足先进制程对洁净度的严格要求。

在规格方面，C003-Y-99-CP总长300mm，重量仅31g，加长设计并未显著增加重量，确保长时间操作的舒适性。紧凑的吸笔头设计便于在晶圆盒、工艺腔体等有限空间内灵活操作。产品需与真空泵、ESD防静电管、静电消散接地套件等配件配合使用，构建完整的ESD安全搬运系统。

在应用场景方面，C003-Y-99-CP广泛适用于12英寸半导体晶圆的搬运与转移、深腔体工艺设备的取放操作、芯片与裸片的拾取与放置、洁净室环境下的精密操作，以及各类需要大尺寸晶圆静电防护的搬运场景。

C003-Y-99-CP广泛应用于12英寸晶圆制造、半导体封装、洁净室操作及芯片组装等领域。池田屋表示，该产品以加长型设计与NO+SW阀门配置，为12英寸晶圆的安全搬运提供了可靠的ESD防护解决方案。