池田屋现货！东丽RF-400-01痕量氧分析仪

池田屋现货！东丽RF-400-01痕量氧分析仪 

池田屋现货！东丽RF-400-01痕量氧分析仪 

摘要： 在半导体制造、空分及高纯气体检测等领域，痕量氧浓度的精准测量是保障工艺安全与产品纯度的关键。池田屋全新引入的日本东丽（TORAY）RF-400-01型痕量氧分析仪，采用高灵敏度电化学传感器技术，检测下限低至0.1ppm，支持0-10/0-100/0-1000ppm三档量程切换，为高纯气体品质管控、惰性气体纯度分析及空分产品监测提供了高效、可靠的在线痕量氧检测解决方案。

正文：

在半导体晶圆制造、高纯气体纯化及空气分离等精密工艺中，痕量氧含量的实时监控直接关系到产品良率与工艺安全。在半导体扩散炉、外延生长及氮气/氩气纯化系统中，残留氧即使仅为ppm级别，也可能导致晶圆氧化或掺杂失效。传统氧传感器在检测下限、响应速度及长期稳定性方面存在局限。为应对这一挑战，池田屋引入日本东丽（TORAY）RF-400-01型痕量氧分析仪。

RF-400-01由日本东丽（TORAY）研发制造，是一款基于高灵敏度电化学传感器的痕量氧分析仪，专为惰性气体（N₂、Ar、He）中的微量氧检测而优化设计。其测量范围可在0-10ppm、0-100ppm、0-1000ppm三档间灵活切换，低检测限达0.1ppm，可满足半导体级高纯气体（如电子级N₂、H₂、Ar）中痕量氧的精确测量需求。

在核心性能方面，RF-400-01具备快速响应特性，可实时捕捉气体中氧浓度的瞬时变化，适用于在线连续监测与间歇采样两种模式。传感器采用电化学测量原理，具有高选择性和低交叉干扰特性，在惰性气体背景下仍能保持稳定的测量输出。测量精度为±1%FS（0-10ppm档） 或±2%FS（0-100/0-1000ppm档），确保测量数据的可靠性。

在结构设计方面，RF-400-01采用壁挂式紧凑设计，便于在设备机柜或生产现场灵活部署。采样气体入口压力需稳定在约1bar（若现场采样压力异常需加装限流装置）。传感器工作温度范围为0至+60℃，适配工业现场常规环境。输出信号为4-20mA模拟量，便于与PLC、DCS及记录仪等控制系统无缝集成。

行业观察人士指出，在半导体与空分等对气体纯度要求严苛的行业中，痕量氧分析仪器的灵敏度与稳定性是保障工艺良率与生产安全的关键。池田屋此次引入的东丽RF-400-01痕量氧分析仪，以其0.1ppm高灵敏度、多量程灵活切换及快速响应特性等核心优势，为国内高纯气体检测与空分监测领域提供了可靠的痕量氧测量方案。

综合来看，该产品的推广应用，有助于提升半导体制造、高纯气体及空分等行业的痕量氧检测精度与响应效率，为产品质量控制与安全生产提供坚实的技术支撑。